Invention Grant
CN101246258B 梳齿型静电驱动器
失效 - 权利终止
- Patent Title: 梳齿型静电驱动器
- Patent Title (English): Comb teeth type electrostatic actuator
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Application No.: CN200710303585.4Application Date: 2007-12-28
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Publication No.: CN101246258BPublication Date: 2010-11-10
- Inventor: 加藤嘉睦 , 森惠一
- Applicant: 日本航空电子工业株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日本航空电子工业株式会社
- Current Assignee: 日本航空电子工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 陶凤波
- Priority: 355387/06 2006.12.28 JP
- Main IPC: G02B26/08
- IPC: G02B26/08 ; B81B3/00

Abstract:
本发明涉及梳齿型静电驱动器。其中,与基体上预先确定的匹配轴线(0x)平行地配置可动棒(11),在该可动棒上的连结部(11C)两侧固定具有多个可动电极板(12b)的可动梳齿电极(12),并在基体上固定具有多个固定电极板(21b、22b)的固定梳齿电极(21、22),四个铰链(23、24)各自一端被固定在可动棒上,而另一端被固定设置在基体的固定部(32A~32D)。这些铰链的长度被设定为分别比从固定部到所述匹配轴线的距离长,连结部(11C)的匹配轴线垂直方向的位移量(Lc)比各可动电极板与最接近其的固定电极板的距离小。
Public/Granted literature
- CN101246258A 梳齿型静电驱动器 Public/Granted day:2008-08-20
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