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梳齿型静电驱动器
Abstract:
本发明涉及梳齿型静电驱动器。其中,与基体上预先确定的匹配轴线(0x)平行地配置可动棒(11),在该可动棒上的连结部(11C)两侧固定具有多个可动电极板(12b)的可动梳齿电极(12),并在基体上固定具有多个固定电极板(21b、22b)的固定梳齿电极(21、22),四个铰链(23、24)各自一端被固定在可动棒上,而另一端被固定设置在基体的固定部(32A~32D)。这些铰链的长度被设定为分别比从固定部到所述匹配轴线的距离长,连结部(11C)的匹配轴线垂直方向的位移量(Lc)比各可动电极板与最接近其的固定电极板的距离小。
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