多级加热器及轴的制造方法

    公开(公告)号:CN102884224B

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201180022731.0

    申请日:2011-04-19

    CPC classification number: H01L21/67103 C23C16/4586 H01L21/68792

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制从加热基板向轴侧的热传导的多级加热器及轴的制造方法。多级加热器具备:由铝或含有铝的合金构成的加热基板(2);与加热基板的一面接合,并支承加热基板的轴(5)。轴(5)具有:由比加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管(6);将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速,直接以固相状态向管喷涂并堆积,从而在管的与加热基板接合的一侧形成的接合层(7)。

    旋转装置和热喷涂装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118974304A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202380029407.4

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 旋转装置包括:旋转台,其可装拆地支撑基材,所述基材具有规定温度的液体的流入口、流出口及用于连接所述流入口和所述流出口的流动路径;支撑所述旋转台的旋转支柱;用于旋转所述旋转支柱的旋转机构;以及向所述基材供给所述液体的液体供给部,其中,所述旋转台具有向所述基材供给所述液体的液体供给口以及从所述基材排出液体的液体排出口,所述旋转支柱在内部具有连接于所述液体供给口的第一配管以及连接于所述液体排出口的第二配管。另外,热喷涂装置包括上述旋转装置以及热喷涂枪。

    层叠体的制造方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112513329A

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201980051612.4

    申请日:2019-08-06

    Inventor: 平野智资

    Abstract: 一种将使用材料粉末而形成的被膜层叠在具有绝缘性的基材表面上而成的层叠体的制造方法,其包括以下工序:使以铝或铝合金为主成分的材料粉末与气体一同加速,保持固相状态地喷射到基材表面,来在基材表面上形成前处理被膜的前处理工序;以及加热在基材表面上形成前处理被膜的前处理层叠体,来形成表面呈不规则的凹凸形状的热处理被膜的被膜形成工序。

    复合管以及复合管的制造方法

    公开(公告)号:CN107709613B

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201680036460.7

    申请日:2016-06-21

    Inventor: 平野智资

    Abstract: 本发明提供一种不会对各层的材料组合和各层的厚度组合产生限制,且多个层之间的附着性较高,并且具有长期使用时耐久性的复合管等。其具备,由第1种金属或合金制成的筒状体11,以及设置于该筒状体11的内周面,由与所述第1种金属或合金不同种类的第2种金属或合金制成,径向厚度至少有50μm的内周皮膜层12。在筒状体11和内周皮膜层12的交界面形成有一方的材料进入到另一方的锚定层。

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