-
公开(公告)号:CN1841020A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610073334.7
申请日:2006-03-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器,包括:音叉谐振器,其具有从基底延伸的多个臂;支撑所述基底的单引线框架;以及支撑所述单引线框架的外壳。所述外壳和引线框架在它们之间限定了空间。
-
公开(公告)号:CN1790029A
公开(公告)日:2006-06-21
申请号:CN200510102738.X
申请日:2005-09-09
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01P15/02
CPC classification number: G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/123 , G01P2015/084 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 加速度传感器。具有较好抗冲击性的结构被提出用于伞型加速度传感器。该加速度传感器,包括:支撑部分,其下端固定到基板上;梁部分,在其上形成检测元件,检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号,梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接;被悬起的重物,其与所述梁部分的另一端相连接;和制动器基板,其带有窗孔部分,为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘,与焊盘连接的导线经过该窗孔部分。该制动器基板限制了重物向上的过度摆动。
-
公开(公告)号:CN1677056A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510059704.7
申请日:2005-03-29
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 一种惯性传感器,包括:传感部分,其具有由梁支撑的配重,该配重是可运动部分;以及限制配重的可运动范围的配重止动件,该配重止动件以给定间距设置在配重的附近,并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。
-
公开(公告)号:CN101135562A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200710147843.4
申请日:2007-08-30
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种振动传感器。该振动传感器包括:具有基座和从该基座延伸的臂的音叉式振动器;用于安装所述音叉式振动器的安装部;以及用于将所述音叉式振动器安装在所述安装部上的多个支撑件。
-
公开(公告)号:CN101059347A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200710096500.X
申请日:2007-04-19
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器,这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部,并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。
-
公开(公告)号:CN101254894A
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200810074162.4
申请日:2008-02-27
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: G01P15/125 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P15/0802 , H01L23/041 , H01L2924/0002 , Y10T156/1052 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种封装的微型可移动器件及其制造方法,每个微型器件包括微型可移动元件、具有凹部的第一封装部件和具有另一凹部的第二封装部件。该微型可移动元件具有可移动部。根据此方法,制备器件晶片以形成多个微型可移动元件。第一封装晶片被连接至该器件晶片的一个表面,该第一封装晶片中形成有多个在位置上与各可移动元件对应的凹部。形成有多个凹部的第二封装晶片被连接至该器件晶片的另一个表面。最终制成的层叠组件被切割成分离的产品。
-
公开(公告)号:CN1928496A
公开(公告)日:2007-03-14
申请号:CN200610128999.3
申请日:2006-09-06
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括感测角速度的振动器、以及安装有所述振动器的外壳。所述振动器布置在所述外壳中,以使得该振动器的宽度方向与所述外壳的长边方向一致。所述振动器可附着于所述外壳,以使得该振动器相对于垂直方向倾斜。
-
公开(公告)号:CN1854684A
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200610078626.X
申请日:2006-04-26
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器,包括检测角速度的振动器和其上安装有该振动器的外壳。所述振动器沿着所述外壳的对角方向布置。所述角速度传感器包括支撑所述外壳的电路板。所述振动器附接在所述电路板上,以使得所述振动器相对于垂直方向以预定角度倾斜。
-
公开(公告)号:CN1773292A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200510084468.4
申请日:2005-07-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , G01P1/006 , G01P15/18
Abstract: 提供了一种加速度传感器,其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括:形成在半导体基板中央的重物;形成在重物周边的框架;连接重物和框架的梁或隔膜;检测元件,其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲;以及引线,形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘,其中,在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。
-
公开(公告)号:CN1721858A
公开(公告)日:2006-01-18
申请号:CN200510064610.9
申请日:2005-04-15
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01P15/08 , G01P15/12 , G01P15/125 , G01C19/00
CPC classification number: G01P15/0802 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 一种惯性传感器,诸如加速度传感器或回转仪,其通过调节重物部分在上限方向上的移动而具有优良的抗冲击性。该传感器包括传感器部分,该传感器部分具有固定部件、具有小于所述固定部件的高度的预定大小的高度的重物部分、和连接所述重物部分和所述固定部件的梁部分;板状第一止挡部分,其覆盖所述重物部分且连接到所述固定部件上,并与所述重物部分相隔预定大小的间隙;和平板状第二止挡部分,其通过一预定高度的隆起部连接到所述固定部件,该隆起部位于与第一止挡部分相对的一侧。
-
-
-
-
-
-
-
-
-