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公开(公告)号:CN101231301A
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200810004550.5
申请日:2008-01-22
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供一种角速度传感器。该角速度传感器包括:第一音叉振动器,所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂;第二音叉振动器,所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂;以及双平衡架部,所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部,并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。
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公开(公告)号:CN101162144A
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200710152449.X
申请日:2007-10-12
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/097 , H01L41/08
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H9/21 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明提供了振动传感器及其制造方法。该振动传感器包括:音叉振动器,其具有基座和从所述基座延伸出的多个臂;安装部,其用于安装所述音叉振动器;以及支撑构件,其将所述音叉振动器安装在所述安装部上,并且具有窄部。
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公开(公告)号:CN101059346A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200710096499.0
申请日:2007-04-19
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器,这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部,并且所述多个音叉式振动器之间的谐振频率差至少为所述多个音叉式振动器的平均谐振频率的百分之二。
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公开(公告)号:CN1913143A
公开(公告)日:2007-02-14
申请号:CN200610115412.5
申请日:2006-08-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H01L23/488
CPC classification number: G01C19/5719 , B81B2201/0242 , B81B2201/042 , B81B2207/097 , B81C1/00301 , H01L2224/48137 , H01L2224/73265 , H01L2924/30107 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体器件,其包括:芯片,其具有基底半导体层、设置在所述基底半导体层上的绝缘层,以及设置在所述绝缘层上的上半导体层;安装基板,所述芯片在所述基底半导体层处被安装在该安装基板上;以及连接部分,用于对设置在所述安装基板上的第一端子与所述基底半导体层的表面或设置在该表面上的第二端子进行电连接。
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公开(公告)号:CN1677068A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510063778.8
申请日:2005-04-01
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/18 , G01P21/00 , G01P2015/084
Abstract: 本发明提供用于具有多轴传感器的力传感器装置的应力检测方法和采用此方法的力传感器装置,所述力传感器装置的安装角度是任意的。该应力检测方法包括:检测轴相互正交的第一和第二力传感器。当第一力传感器的检测轴与被检测应力Ax的方向形成角度θ,并且在与被检测应力Ax的方向相垂直的方向上的应力分量是Az时,求得第一力传感器的轴方向的输出Apx为Apx=αx(Ax×cosθ+Az×sinθ),并且求得第二力传感器的轴方向的输出Apz为Apz=αz(Ax×sinθ+Az×cosθ),以及当αx和αz分别是第一力传感器和第二力传感器的检测灵敏度系数时,将第二力传感器的检测灵敏度系数αz设置为αz=αxtanθ,求得被检测应力Ax为Ax=(Apx-Apz)/αx(cosθ-tanθ×sinθ)。
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公开(公告)号:CN101274741A
公开(公告)日:2008-10-01
申请号:CN200810090308.4
申请日:2008-03-28
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B3/0008 , B81B2201/0242 , G01C19/5719 , G01P15/125 , G01P15/14
Abstract: 本发明提供一种微移动器件、晶片及其制造方法。该微移动器件通过加工多层结构的材料基板而获得,该多层结构包括:第一层;第二层,在其位于该第一层一侧的表面上具有微细粗糙区;以及中间层,其设置在该第一层与该第二层之间,该微移动器件包括在该第一层中形成的第一结构和在该第二层中形成的第二结构。该第二结构包括经由间隙与第一结构相对的、并在其位于第一结构一侧具有微细粗糙区的部分,且该第二结构相对于该第一结构可相对移位。
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公开(公告)号:CN1904553A
公开(公告)日:2007-01-31
申请号:CN200610107860.0
申请日:2006-07-26
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719
Abstract: 一种角速度传感器,包括:第一平衡环部;第二平衡环部,其通过设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处的第一扭杆而与所述第一平衡环部连接;框架部,其通过设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处的第二扭杆而与所述第二平衡环部连接;第一静电耦合部,设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处以使所述第一平衡环部和所述第二平衡环部静电耦合;以及第二静电耦合部,设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处以使所述第二平衡环部和所述框架部静电耦合。在所述第一平衡环部中,沿所述第一扭杆的方向的侧面的最大宽度比设置有所述第一扭杆的侧面的宽度大。
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公开(公告)号:CN1766648A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200510068900.0
申请日:2005-05-11
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , G01D11/30 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声,可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度,包括:具有四个侧面的框架,通过半导体基板一体形成;重物部分,位于该框架中;和四个梁部分,分别与四个侧面中的每一个相对应,所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分,另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心,在四个梁部分的每一个上形成检测元件,该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲;在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对,在该接合部分对之间形成有间隙;在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称,并具有预定的长度。
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公开(公告)号:CN101086507A
公开(公告)日:2007-12-12
申请号:CN200710108576.X
申请日:2007-06-06
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01H11/08
Abstract: 本发明提供一种振动传感器。该振动传感器包括:振动体;驱动电路,其使所述振动体振动;感测电路,其参照与所述驱动电路的驱动信号相关联的基准信号,并基于与所述振动体的振动相关的感测信号来检测所述振动体的物理状态;和电容器,其设置在所述驱动电路与地之间。该电容器具有一电容值温度特性,该电容值温度特性被限定用以补偿所述感测信号对所述振动体的振动的灵敏度的温度特性的至少一部分。
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公开(公告)号:CN101059348A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200710104437.X
申请日:2007-04-20
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括:第一音叉式振动器和第二音叉式振动器,所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器中的每一个均分别包括基部和从所述基部延伸的多个臂部;和安装部,该安装部安装所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器,其中,所述第一音叉式振动器的臂部的一端与所述第二音叉式振动器的侧面相对;并且连接所述第一音叉式振动器和所述安装部的第一线沿着所述第一音叉式振动器的宽度方向延伸。
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