物理量传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102834695B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201180016201.5

    申请日:2011-03-30

    发明人: 高濑恭英

    IPC分类号: G01C19/56 G01P15/14

    摘要: 本发明的目的在于提供一种能够获得高精度的物理量检测信号的物理量传感器。该物理量传感器包括:将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡的振荡电路、基于来自所述振荡电路的检波信号对来自所述振子的被检波信号进行检波的检波电路,其中,还包括有:所述检波电路的前段处的、对来自所述振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中任一方的信号进行Δ∑调制,并输出调制信号的Δ∑调制器;输出电压可变的可变电压源;控制所述可变电压源的输出电压的控制部,所述Δ∑调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行Δ∑调制。

    多轴微电子惯性感测器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104136886A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201280070092.X

    申请日:2012-12-20

    IPC分类号: G01C19/5712 G01P15/14

    摘要: 一种谐振器微电子惯性感测器,优选微机电系统(MEMS)感测器(例如陀螺仪),用于检测一个以上轴的线性加速度和旋转速率,其包括:*密封质量块系统(21.1、...、21.4),柔性地悬挂在衬底上方,用于进行绕中心轴线(24)的面内旋转振动,*驱动电极系统(D1、...、D4),用于驱动密封质量块系统(21.1、...、21.4)进行所述面内旋转振动,以及*感测电极系统(S1、...、S4),连接到密封质量块系统(21.1、...、21.4),用于检测一个以上轴的线性加速或旋转速率。所述密封质量块系统(21.1,...,21.4)具有彼此柔性耦合(25.1a、25.1b)的两个以上密封质量块元件。每个密封质量块元件(21.1、21.2)直接并柔性地连接(23.1、25.1a、25.1b)到衬底(32)上的锚定结构(22)。密封质量块元件(21.1、...、21.4)优选布置在相对于中心轴线(24)的内、外径(R1、R2)之间的环形构造中。

    功能元件、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN104864862A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510085068.9

    申请日:2015-02-16

    发明人: 田中悟

    IPC分类号: G01C19/5642

    摘要: 本发明提供一种功能元件、电子设备以及移动体。功能元件包括:基板;可动体,其具备可动电极部;支承部,其对可动体以能够围绕第一轴进行位移的方式进行支承;第一固定电极部,其至少一部分与以第一轴为边界而划分出的作为可动体的一方的第一部分对置地被配置于基板上;第二固定电极部,其至少一部分与以第一轴为边界而划分出的作为可动体的另一方的第二部分对置地被配置于基板上;第三固定电极部,其至少一部分与第一部分对置地被配置于基板上,在俯视观察时,在可动体上设置有开口部,所述开口部与第一固定电极部与第三固定电极部之间的基板的区域对置,开口部的宽度为区域的宽度以上。

    一种微型惯性测量系统
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103210280A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201080068428.X

    申请日:2010-12-06

    发明人: 汪滔

    IPC分类号: G01C21/16

    摘要: 本发明涉及一种微型惯性测量系统,包括壳体、传感组件以及减振器,其中,所述传感组件包括刚性传感支架、装于所述传感支架上的测控电路板、以及设于所述测控电路板上的惯性传感器;所述惯性传感器包括陀螺仪和加速度计;所述传感组件装于所述壳体内;所述减振器装于所述壳体内并设于所述传感组件与壳体内壁之间的空隙中。通过上述结构,本发明微型惯性测量系统的抗噪能力可大幅度提高,并可大幅度缩小惯性测量单元体积和重量。