公开(公告)号：CN104995483A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201480008032.4

申请日：2014-01-17

申请人： 松下知识产权经营株式会社

发明人： 佐佐木刚

IPC分类号： G01C19/5614 ,  H01L41/113 ,  H03F1/26

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0888 ,  H01L41/1132

摘要： 惯性传感器具备：分别输出第1和第2检测信号的第1和第2检测部；具有选择性地输入第1和第2检测信号的输入端的放大器；构成为与放大器的输入端和输出端并联连接的反馈电路部；设置在第1检测部与放大器的输入端之间的第1开关元件；设置在第1检测部与反馈电路部之间的第2开关元件；设置在第2检测部与放大器的输入端之间的第3开关元件；和设置在第2检测部与反馈电路部之间的第4开关元件。在该惯性传感器中，放大电路的输出特性稳定，进而，无用信号的产生被抑制。

公开(公告)号：CN104797943A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060061.0

申请日：2013-11-14

申请人： 株式会社村田制作所

发明人： 市丸正幸

IPC分类号： G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01P15/123 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18

摘要： 本发明的角加速度传感器(10)具有平板面，并包括固定部(12)、锤部(13)、以及梁部(14)。锤部(13)具有在平板面上向X轴负方向凹陷的凹部(13A)。固定部(12)具有在平板面上向X轴负方向突出并与凹部(13A)相对的凸部(12A)。梁部(14)在平板面上从凸部(12A)向Y轴正方向延伸，并在Y轴正方向的端部与凹部(13A)相连。固定部(12)和锤部(13)上的、与梁部(14)的连接位置附近的梁部附近区域(12B、13B)在平板面上以应力中立面(P)为界线呈面对称形。

公开(公告)号：CN102510995B

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201080040181.0

申请日：2010-06-16

申请人： 丰田自动车株式会社

发明人： 成田胜俊 ,  山冈英彦

IPC分类号： G01C19/5733

CPC分类号： G01C19/574 ,  G01P3/22 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/125 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0805

摘要： 本发明的复合传感器，具有：第一单元，其包括相互对称地配置且能够沿驱动方向及检测方向进行位移的第一及第二振动器；第二单元，其包括相互对称地配置且能够沿与所述驱动方向及所述检测方向相同的轴向进行位移的第三及第四振动器；驱动部，其驱动所述第一、第二、第三及第四振动器，以使所述第一及第二驱动件彼此、所述第三及第四振动器彼此以相互相反的相位进行振动，并使所述第一单元及所述第二单元彼此也以相互相反的相位进行振动；以及检测部，其检测所述第一、第二、第三及第四振动器的所述检测方向的位移。

公开(公告)号：CN104111345A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201410156351.1

申请日：2014-04-18

申请人： 飞思卡尔半导体公司

发明人： A·A·盖斯伯格 ,  贾克妙

IPC分类号： G01P3/44 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00

CPC分类号： G01P15/0888 ,  B81C99/004 ,  B81C2201/0132 ,  G01B5/24 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5663 ,  G01C25/005

摘要： 本发明涉及估算结构的侧壁歪斜角。装置（36）包括运动放大结构（52）、致动器（54）以及接近所述结构（52）的传感电极（50）。所述致动器（54）在所述结构（52）上引起轴向力（88），其在所述结构（52）一个或多个梁（58、60）内导致了相对大量的面内运动（108）。当梁（58、60）的侧壁（98）展示歪斜角的时候，梁（58、60）的面内运动（108）产生了被连接到梁（58、60）的末端的桨元件（62）的面外运动（110）。由蚀刻工艺产生的歪斜角（28）限定了梁（58、60）的侧壁（98）偏移于或倾斜于其设计取向的度数。元件（62）的面外运动（110）在电极（50）被感测，并被用于确定估算的歪斜角（126）。

公开(公告)号：CN1694044A

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN200510069613.1

申请日：2005-04-29

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 方远喆 ,  金东润 ,  吴钟九 ,  赵俊基 ,  姜京浩 ,  赵诚贞 ,  崔恩硕 ,  张旭

IPC分类号： G06F3/00 ,  G06F3/033

CPC分类号： G01P13/00 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18 ,  G06F3/0346 ,  G06F2200/1636 ,  H04M1/0214 ,  H04M2250/12 ,  H04M2250/22

摘要： 一种输入设备，包括：传感器，其被配置成用来产生与响应于所述输入设备的接触而围绕所述输入设备的至少一个轴的惯量变化有关的信号。一处理器被配置成来接收来自所述传感器的信号，以确定围绕所述输入设备的所述至少一个轴的惯量变化是否对应所述输入设备的敲击。所述处理器还被配置为，当所述惯量的变化对应所述输入设备的敲击时，基于围绕所述输入设备的所述至少一个轴的惯量变化的方向，来识别所述输入设备的接触区域。

公开(公告)号：CN1157606C

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN01120663.2

申请日：2001-07-24

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 大土哲郎 ,  小池隆文 ,  谷口文彦

IPC分类号： G01P15/09 ,  H01L41/08

CPC分类号： G01P15/0888 ,  G01P15/0922

摘要： 提供一种设置在限定空间内、可以高灵敏度地检测出转动加速度的加速度传感器。加速度传感器(10)由设置了为输出由应变产生的电荷的电极(11a、11b、21a、21b)的第1以及第2压电元件1、2构成，上述第1以及第2压电元件分别至少由一个压电体(4)构成，具有支撑上述压电体的支撑体部(3)，同时上述电极至少分别设置在上述压电元件的相对的面上，上述第1压电元件的一方的面和第2压电元件的一方的面相互实质上平行设置。

公开(公告)号：CN107247159A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201710615991.8

申请日：2017-07-25

申请人： 中国地震局工程力学研究所

发明人： 孙志远 ,  高峰 ,  王雷 ,  佘天莉 ,  杨巧玉

IPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/08

CPC分类号： G01P15/0888 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0865

摘要： 本发明提供了一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置，涉及传感器领域。其通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动，第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动，第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第一可变电容器，第二固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第二可变电容器，第一电荷放大电路与第一可变电容器耦合，第二电荷放大电路与第二可变电容器耦合，第一电荷放大电路与第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以根据输出电压判断MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。本发明能够提供一种结构简单、体积小巧的转动加速度传感器，能精确判断构件是否转动。

公开(公告)号：CN104541130B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201380042992.8

申请日：2013-05-15

申请人： 独立行政法人产业技术综合研究所

发明人： 山本泰之

IPC分类号： G01C19/5712

CPC分类号： G01C19/5705 ,  G01C19/5712 ,  G01L1/2243 ,  G01L3/1428 ,  G01P15/0888

摘要： 在存在特定的回转角加速度以外的加速度导致噪音的问题，且不得不廉价制作测定装置的情况下，通过以能够在很大程度上抑制向特定回转方向以外的方向的运动的弹簧结构支持振体，提供减少了由特定回转角加速度以外的加速度导致的噪音的回转角加速度测定装置。本发明的回转角加速度测定装置包含：振体，以回转轴为中心回转；多个节点，用于在自回转轴起半径为r的点上支持振体；多个平行四边形链接，臂长为r，用于使支持振体的节点以回转轴为中心进行圆周运动；支持部，用于支持平行四边形链接的固定节；回转角检测单元，检测回转角；运算单元，用于根据回转角计算回转角加速度。

公开(公告)号：CN103250057B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201180058118.4

申请日：2011-11-25

申请人： 意法半导体股份有限公司 ,  米兰综合工科大学

发明人： C·科米 ,  A·科里格利亚诺 ,  B·西莫尼

IPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

摘要： 一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1；1′)具有：惯性质量体(2；2’)，借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在衬底(30)之上，弹性元件(8)响应于相应线性外部加速(ax，ay)实现惯性质量体(2；2′)的沿属于所述惯性质量体(2；2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动；以及至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b)，具有分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的相应纵向延伸，并且通过弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到惯性质量体(2；2’)，以便在惯性质量体分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1，N2)。

公开(公告)号：CN102023234B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201010221456.2

申请日：2010-07-01

申请人： 俞度立 ,  冯方方 ,  韩可都

发明人： 俞度立 ,  冯方方 ,  韩可都

IPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/131 ,  G01P15/18

摘要： 本发明提供一种电容式MEMS加速度传感器、该加速度传感器的制作方法以及由该加速度传感器组成的加速度传感器组件。该电容式MEMS加速度传感器包括：具有一个上部和一个下部的扭矩弹簧-质量块支撑结构、键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构上部的上部电极盖板和键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构下部的下部电极盖板，所述扭矩弹簧-质量块支撑结构包括支撑框架、一对扭矩臂和平板型质量块，所述扭矩臂包括连接到所述支撑框架的主干和与所述主干相连接的两个分支臂。该加速度传感器耐受冲击震动，低成本、高性能，易于生产，用途广泛。