公开(公告)号：CN103250057A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201180058118.4

申请日：2011-11-25

申请人： 意法半导体股份有限公司 ,  米兰综合工科大学

发明人： C·科米 ,  A·科里格利亚诺 ,  B·西莫尼

IPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

摘要： 一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1；1′)具有：惯性质量体(2；2’)，借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在衬底(30)之上，弹性元件(8)响应于相应线性外部加速(ax，ay)实现惯性质量体(2；2′)的沿属于所述惯性质量体(2；2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动；以及至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b)，具有分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的相应纵向延伸，并且通过弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到惯性质量体(2；2’)，以便在惯性质量体分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1，N2)。

公开(公告)号：CN103250057B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201180058118.4

申请日：2011-11-25

申请人： 意法半导体股份有限公司 ,  米兰综合工科大学

发明人： C·科米 ,  A·科里格利亚诺 ,  B·西莫尼

IPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

摘要： 一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1；1′)具有：惯性质量体(2；2’)，借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在衬底(30)之上，弹性元件(8)响应于相应线性外部加速(ax，ay)实现惯性质量体(2；2′)的沿属于所述惯性质量体(2；2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动；以及至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b)，具有分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的相应纵向延伸，并且通过弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到惯性质量体(2；2’)，以便在惯性质量体分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1，N2)。

公开(公告)号：CN103827673B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201280042181.3

申请日：2012-08-31

申请人： 意法半导体股份有限公司 ,  米兰综合工科大学

发明人： C·科米 ,  A·科里利亚诺 ,  S·泽尔比尼

IPC分类号： G01P15/097

CPC分类号： G01P15/0975 ,  G01P15/097

摘要： 本发明提供一种用于z轴谐振加速度计(24)的检测结构(1)，具有惯性质量体(2)，其借助弹性锚定件元件(6)锚定到衬底(20)，以便悬置在衬底(20)上方，并且响应于沿关于平面(xy)横切的垂直轴(z)作用的外部加速度(az)来执行绕第一旋转轴(A)的旋转的惯性移动；以及第一谐振器元件(10a)和第二谐振器元件(10b)，其通过相应弹性支撑元件(16)机械耦合到惯性质量体(2)，这实现在谐振情况下的绕第二旋转轴(B)和第三旋转轴(C)的旋转的移动。具体地，第二旋转轴(B)和第三旋转轴(C)相互平行，并且还平行于惯性质量体(2)的第一旋转轴(A)。

公开(公告)号：CN103827673A

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201280042181.3

申请日：2012-08-31

申请人： 意法半导体股份有限公司 ,  米兰综合工科大学

发明人： C·科米 ,  A·科里利亚诺 ,  S·泽尔比尼

IPC分类号： G01P15/097

CPC分类号： G01P15/0975 ,  G01P15/097

摘要： 本发明提供一种用于z轴谐振加速度计(24)的检测结构(1)，具有惯性质量体(2)，其借助弹性锚定件元件(6)锚定到衬底(20)，以便悬置在衬底(20)上方，并且响应于沿关于平面(xy)横切的垂直轴(z)作用的外部加速度(az)来执行绕第一旋转轴(A)的旋转的惯性移动；以及第一谐振器元件(10a)和第二谐振器元件(10b)，其通过相应弹性支撑元件(16)机械耦合到惯性质量体(2)，这实现在谐振情况下的绕第二旋转轴(B)和第三旋转轴(C)的旋转的移动。具体地，第二旋转轴(B)和第三旋转轴(C)相互平行，并且还平行于惯性质量体(2)的第一旋转轴(A)。

公开(公告)号：CN108413954A

公开(公告)日：2018-08-17

申请号：CN201810104997.3

申请日：2013-09-27

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： C·科米 ,  A·科里利亚诺 ,  L·巴尔达萨雷

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125

CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/56 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831

摘要： 本公开涉及一种集成检测结构和包括该集成检测结构的电子设备。集成检测结构包括：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。

公开(公告)号：CN103712612A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310463706.7

申请日：2013-09-27

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： C·科米 ,  A·科里利亚诺 ,  L·巴尔达萨雷

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01P15/125

CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/56 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831

摘要： 一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。

公开(公告)号：CN108534769B

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN201810105444.X

申请日：2013-09-27

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： C·科米 ,  A·科里利亚诺 ,  L·巴尔达萨雷

IPC分类号： G01C19/574 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125

摘要： 本公开的实施例涉及加速度和角速度谐振检测集成结构及相关MEMS传感器设备。一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。

公开(公告)号：CN107976180A

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201710443570.1

申请日：2017-06-13

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： A·托齐奥 ,  L·G·法罗尼 ,  C·科米 ,  V·泽加

IPC分类号： G01C19/5656 ,  G01C19/5649

CPC分类号： G01C19/5747 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5769

摘要： 一种频率调制MEMS三轴陀螺仪(10)，具有：两个可移动质量块(11A，11B)；第一和第二驱动体(31A，31B)，该第一和第二驱动体通过弹性元件(41A，41B)联接至这些可移动质量块(11A，11B)，这些弹性元件在第一方向(X)上是刚性的并且在横向于该第一方向的第二方向(Y)上是柔顺的；以及第三和第四驱动体(32A，32B)，该第三和第四驱动体通过弹性元件(42A，42B)联接至这些可移动质量块，这些弹性元件在该第二方向上是刚性的并且在该第一方向(X)上是柔顺的。第一和第二驱动元件(59A)联接至该第一和第二驱动体(31A，31B)，用于使得这些可移动质量块在该第一方向上反相地平移。第三和第四驱动元件(63A)联接至该第三和第四驱动体(32A，32B)，用于使得这些可移动质量块在该第二方向上且反相地平移。平面外驱动元件(68A)联接至该第一和第二可移动质量块，用于使得在第三方向(Z)上反相地平移。移动感测电极(60A，64A，69A)根据外部角速度生成频率信号。

公开(公告)号：CN103712612B

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201310463706.7

申请日：2013-09-27

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： C·科米 ,  A·科里利亚诺 ,  L·巴尔达萨雷

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01P15/125

CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/56 ,  G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831

摘要： 一种集成检测结构具有：第一惯性质量体和第二惯性质量体，每个惯性质量体弹性地锚定到基板并且具有沿着第一水平轴的线性运动、绕着与第二水平轴平行的第一旋转轴的第一旋转检测运动和沿着第二水平轴的第二平移检测运动；驱动电极，引起惯性质量体在第一水平轴的相反方向上的线性运动；成对挠曲谐振器元件和成对扭转谐振器元件，弹性耦合到惯性质量体，挠曲谐振器元件具有绕着相互平行并且与第一旋转轴平行的第二旋转轴和第三旋转轴的谐振旋转运动。

公开(公告)号：CN107976180B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN201710443570.1

申请日：2017-06-13

申请人： 意法半导体股份有限公司

发明人： A·托齐奥 ,  L·G·法罗尼 ,  C·科米 ,  V·泽加

IPC分类号： G01C19/5656 ,  G01C19/5649

摘要： 一种频率调制MEMS三轴陀螺仪(10)，具有：两个可移动质量块(11A，11B)；第一和第二驱动体(31A，31B)，该第一和第二驱动体通过弹性元件(41A，41B)联接至这些可移动质量块(11A，11B)，这些弹性元件在第一方向(X)上是刚性的并且在横向于该第一方向的第二方向(Y)上是柔顺的；以及第三和第四驱动体(32A，32B)，该第三和第四驱动体通过弹性元件(42A，42B)联接至这些可移动质量块，这些弹性元件在该第二方向上是刚性的并且在该第一方向(X)上是柔顺的。第一和第二驱动元件(59A)联接至该第一和第二驱动体(31A，31B)，用于使得这些可移动质量块在该第一方向上反相地平移。第三和第四驱动元件(63A)联接至该第三和第四驱动体(32A，32B)，用于使得这些可移动质量块在该第二方向上且反相地平移。平面外驱动元件(68A)联接至该第一和第二可移动质量块，用于使得在第三方向(Z)上反相地平移。移动感测电极(60A，64A，69A)根据外部角速度生成频率信号。