公开(公告)号：CN102023234B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201010221456.2

申请日：2010-07-01

申请人： 俞度立 ,  冯方方 ,  韩可都

发明人： 俞度立 ,  冯方方 ,  韩可都

IPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/131 ,  G01P15/18

摘要： 本发明提供一种电容式MEMS加速度传感器、该加速度传感器的制作方法以及由该加速度传感器组成的加速度传感器组件。该电容式MEMS加速度传感器包括：具有一个上部和一个下部的扭矩弹簧-质量块支撑结构、键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构上部的上部电极盖板和键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构下部的下部电极盖板，所述扭矩弹簧-质量块支撑结构包括支撑框架、一对扭矩臂和平板型质量块，所述扭矩臂包括连接到所述支撑框架的主干和与所述主干相连接的两个分支臂。该加速度传感器耐受冲击震动，低成本、高性能，易于生产，用途广泛。

公开(公告)号：CN102023234A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010221456.2

申请日：2010-07-01

申请人： 俞度立 ,  冯方方 ,  韩可都

发明人： 俞度立 ,  冯方方 ,  韩可都

IPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/131 ,  G01P15/18

摘要： 本发明提供一种电容式MEMS加速度传感器、该加速度传感器的制作方法以及由该加速度传感器组成的加速度传感器组件。该电容式MEMS加速度传感器包括：具有一个上部和一个下部的扭矩弹簧-质量块支撑结构、键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构上部的上部电极盖板和键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构下部的下部电极盖板，所述扭矩弹簧-质量块支撑结构包括支撑框架、一对扭矩臂和平板型质量块，所述扭矩臂包括连接到所述支撑框架的主干和与所述主干相连接的两个分支臂。该加速度传感器耐受冲击震动，低成本、高性能，易于生产，用途广泛。