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公开(公告)号：CN1773292A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200510084468.4
申请日：2005-07-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , G01P1/006 , G01P15/18
Abstract: 提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。
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公开(公告)号：CN1790029A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510102738.X
申请日：2005-09-09
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01P15/02
CPC classification number: G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/123 , G01P2015/084 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 加速度传感器。具有较好抗冲击性的结构被提出用于伞型加速度传感器。该加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号，梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接；被悬起的重物，其与所述梁部分的另一端相连接；和制动器基板，其带有窗孔部分，为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘，与焊盘连接的导线经过该窗孔部分。该制动器基板限制了重物向上的过度摆动。
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公开(公告)号：CN1766648A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510068900.0
申请日：2005-05-11
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , G01D11/30 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声，可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度，包括：具有四个侧面的框架，通过半导体基板一体形成；重物部分，位于该框架中；和四个梁部分，分别与四个侧面中的每一个相对应，所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分，另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心，在四个梁部分的每一个上形成检测元件，该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲；在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对，在该接合部分对之间形成有间隙；在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称，并具有预定的长度。
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