公开(公告)号：CN1773292A

公开(公告)日：2006-05-17

申请号：CN200510084468.4

申请日：2005-07-08

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 町田敦司 ,  山田澄夫 ,  田中浩 ,  爱泽尚德 ,  永田宪治 ,  宫下勉 ,  石川宽

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P1/006 ,  G01P15/18

Abstract: 提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。