公开(公告)号：CN1721858A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510064610.9

申请日：2005-04-15

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 德永博司 ,  永田宪治 ,  小野正明 ,  花泽敏夫 ,  石川宽

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/125 ,  G01C19/00

CPC classification number: G01P15/0802 ,  G01C19/56 ,  G01P1/023 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 一种惯性传感器，诸如加速度传感器或回转仪，其通过调节重物部分在上限方向上的移动而具有优良的抗冲击性。该传感器包括传感器部分，该传感器部分具有固定部件、具有小于所述固定部件的高度的预定大小的高度的重物部分、和连接所述重物部分和所述固定部件的梁部分；板状第一止挡部分，其覆盖所述重物部分且连接到所述固定部件上，并与所述重物部分相隔预定大小的间隙；和平板状第二止挡部分，其通过一预定高度的隆起部连接到所述固定部件，该隆起部位于与第一止挡部分相对的一侧。

公开(公告)号：CN1677068A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200510063778.8

申请日：2005-04-01

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 花泽敏夫 ,  小野正明 ,  宫下勉 ,  德永博司 ,  石川宽

IPC: G01L1/00 ,  G01L1/18

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P21/00 ,  G01P2015/084

Abstract: 本发明提供用于具有多轴传感器的力传感器装置的应力检测方法和采用此方法的力传感器装置，所述力传感器装置的安装角度是任意的。该应力检测方法包括：检测轴相互正交的第一和第二力传感器。当第一力传感器的检测轴与被检测应力Ax的方向形成角度θ，并且在与被检测应力Ax的方向相垂直的方向上的应力分量是Az时，求得第一力传感器的轴方向的输出Apx为Apx＝αx(Ax×cosθ+Az×sinθ)，并且求得第二力传感器的轴方向的输出Apz为Apz＝αz(Ax×sinθ+Az×cosθ)，以及当αx和αz分别是第一力传感器和第二力传感器的检测灵敏度系数时，将第二力传感器的检测灵敏度系数αz设置为αz＝αxtanθ，求得被检测应力Ax为Ax＝(Apx－Apz)/αx(cosθ－tanθ×sinθ)。

公开(公告)号：CN1790029A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510102738.X

申请日：2005-09-09

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 小野正明 ,  石川宽 ,  田中浩 ,  山田澄夫

IPC: G01P15/02

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P1/023 ,  G01P15/123 ,  G01P2015/084 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 加速度传感器。具有较好抗冲击性的结构被提出用于伞型加速度传感器。该加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号，梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接；被悬起的重物，其与所述梁部分的另一端相连接；和制动器基板，其带有窗孔部分，为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘，与焊盘连接的导线经过该窗孔部分。该制动器基板限制了重物向上的过度摆动。

公开(公告)号：CN1766648A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200510068900.0

申请日：2005-05-11

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 田中浩 ,  石川宽 ,  永田宪治 ,  小野正明 ,  宫下勉 ,  山田澄夫

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B7/0048 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/0235 ,  G01D11/30 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声，可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度，包括：具有四个侧面的框架，通过半导体基板一体形成；重物部分，位于该框架中；和四个梁部分，分别与四个侧面中的每一个相对应，所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分，另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心，在四个梁部分的每一个上形成检测元件，该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲；在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对，在该接合部分对之间形成有间隙；在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称，并具有预定的长度。