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公开(公告)号：CN114200782B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542240.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性运动平台的活动平台上，输入端二维同位柔性铰链的中部插装有一根驱动杆，输出端二维同位柔性铰链布置在外壳的外部，其下端固定在外壳上，另一根驱动杆插装在输出端二维同位柔性铰链的中部，并伸入外壳内，直线解耦补偿结构连接在两根驱动杆之间，以补偿在运动过程中，两个二维同位柔性铰链旋转中心之间的相对距离变化。本发明占用空间小，运动精度高，并具有较高的可行性。
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公开(公告)号：CN114153127B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
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公开(公告)号：CN114198389A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
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公开(公告)号：CN113848684A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN113917794B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202111110520.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114296322B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111648320.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。
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公开(公告)号：CN114217509B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542248.7
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有机械复眼集成度低，难以对光路精准导向的问题。它包括机架、水平致动器、垂直致动器、张紧装置、球铰和光学元件，所述光学元件通过球铰与机架上端铰接相连，所述水平致动器设置在机架的底部中心位置，所述水平致动器与拉线相连，所述水平致动器带动拉线运动，所述拉线两侧分别穿过张紧装置后，拉线的两端与光学元件长度方向的两端相连，所述垂直致动器固定在机架的中部，所述垂直致动器两侧分别与两个拉杆相连，通过垂直致动器驱动两个拉杆运动，所述两个拉杆的上端与光学元件宽度方向的两侧相连。它主要用于机械复眼旋转驱动。
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公开(公告)号：CN114137804B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542258.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。
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公开(公告)号：CN114264448A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111541828.4
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中缺乏针对复眼单元性能测试及其稳定测试环境构建设备的问题，本发明所述的评估系统包括真空单元、温控单元、隔振底座、测量单元和复眼单元，同时考虑了复眼单元的真空和高温的工作环境。在真空环境模拟系统中，利用真空泵和真空规管组成闭环系统，同时在温控系统中利用温度传感器的电热膜、水冷板组成闭环系统，保证复眼单元所处环境的真空度和温度在目标值在一定的误差范围内，满足测试要求，同时采用了一种基于光敏位移传感器的测量系统，相比于利用干涉仪的测量系统，简化了系统组成，进一步提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN114153127A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
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