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公开(公告)号:CN115480598B
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202210977493.9
申请日:2022-08-15
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 一种离子束加工过程中光学镜面温度控制方法及测控系统,属于高精度非球面光学制造领域。其中,此控制方法包括基于点热源在物体内的能量沉积理论,建立面热源能量沉积模型;根据面热源能量沉积模型,依次对光学零件镜面能量沉积过程进行静态分析及动态分析,优化离子源工艺参数;通过对光学加工过程的离散化设计或对循环的加工路径稀疏化处理,降低温度累积。通过应用此控制方法,可以实现离子束对温度敏感的高精度光学零件、组件级光学产品的高效、高精度加工。
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公开(公告)号:CN116380419A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202211604465.9
申请日:2022-12-13
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明公开了一种检测两面共体大口径非球面反射镜光轴一致性的装置和方法,属于光学零件加工与检测技术领域。该装置包括干涉仪、2个CGH补偿器。在干涉检测光路中将两个非球面表面的光轴通过精密调整和严格标定后引出到CGH补偿器上,CGH特定区域发出平行光,经另一片CGH反射后在干涉仪中形成表征两片CGH补偿器夹角的干涉条纹,观察统计干涉条纹数量解算出两非球面的光轴一致性偏差。相对于传统干涉测量法检测光轴需要引出机械基准、使用经纬仪等高精度检测仪器,具有检测精度高、误差源少,检测成本低的优点。
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公开(公告)号:CN111076898B
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN201911215298.7
申请日:2019-12-02
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明公开了一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法,所述方法包括如下步骤:(1)给出CGH补偿器;(2)在中心偏测量仪上将CGH补偿器的光轴调整到与中心偏测量仪的转台同轴;(3)保持CGH补偿器在中心偏测量仪转台上的位置不变,用激光跟踪仪测量中心偏测量仪的转轴,并测量CGH补偿器光轴和设置于CGH补偿器边角的个第一跟踪仪靶球的相对位置关系;(4)搭建CGH补偿器测量非球面反射镜面形的测试光路;(5)激光跟踪仪架设在测试光路中,测试CGH补偿器上的4个第一跟踪仪靶球位置,利用激光跟踪仪的坐标转换复现CGH补偿器的光轴,在此测试光路中即等效于非球面反射镜的光轴。本发明使得测量精度更高。
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公开(公告)号:CN111076899A
公开(公告)日:2020-04-28
申请号:CN201911269722.6
申请日:2019-12-11
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6-8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8-10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。
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