一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法

    公开(公告)号:CN111076898B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201911215298.7

    申请日:2019-12-02

    Abstract: 本发明公开了一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法,所述方法包括如下步骤:(1)给出CGH补偿器;(2)在中心偏测量仪上将CGH补偿器的光轴调整到与中心偏测量仪的转台同轴;(3)保持CGH补偿器在中心偏测量仪转台上的位置不变,用激光跟踪仪测量中心偏测量仪的转轴,并测量CGH补偿器光轴和设置于CGH补偿器边角的个第一跟踪仪靶球的相对位置关系;(4)搭建CGH补偿器测量非球面反射镜面形的测试光路;(5)激光跟踪仪架设在测试光路中,测试CGH补偿器上的4个第一跟踪仪靶球位置,利用激光跟踪仪的坐标转换复现CGH补偿器的光轴,在此测试光路中即等效于非球面反射镜的光轴。本发明使得测量精度更高。

    一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法

    公开(公告)号:CN111076899A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201911269722.6

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6-8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8-10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。

Patent Agency Ranking