用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法

    公开(公告)号:CN119737885A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411842761.1

    申请日:2024-12-13

    Abstract: 用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法,(1)选取圆形离轴凸非球面1作为测量标准件,用干涉仪配合Hindle球测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果1;(2)用光学轮廓扫描仪测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果2;(3)将测量结果1和测量结果2进行分析处理得到面形测量误差△;(4)计算标准件离轴凸非球面1和被测件离轴凸非球面2的光学表面特定环带上法线角度的变化趋势、差值,以及轮廓仪测试时传感器角度与法线角度的差值;(5)上一步计算的法线角度差值、传感器角度与法线角度的差值作为误差校准参数,根据误差校准参数,调整面形基准测量误差△,即得到误差标定结果△′;(6)用光学轮廓仪测量被测件离轴凸非球面2的面形,测量结果消除△′,得到凸非球面2的准确面形。

    一种适用于轻质大口径反射镜的力控轮式抛光工具

    公开(公告)号:CN119098852A

    公开(公告)日:2024-12-10

    申请号:CN202411292800.5

    申请日:2024-09-14

    Abstract: 本发明提出一种适用于轻质大口径反射镜的力控轮式抛光工具,通过柔性控制的方法,在接触工件的瞬间以及运行过程中,恒力系统以柔性浮动方式,主动适应工件表面的尺寸变化,将力的大小始终控制在所需范围之内,保证加工过程中去除函数的稳定性,从而保证抛光过程中的稳定性。结合柔性加工装置,通过比例积分微分控制规律闭环恒力控制,对工件三维外形任何角度进行抛光打磨同时实现力控系统的快速响应;本发明设置轮式抛光工具转速传感器,在加工至轻质大口径反射镜边缘时,降低加工过程中的转速,从而有效的减少边缘效应。

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