一种碳化硅表面改性方法

    公开(公告)号:CN110551979A

    公开(公告)日:2019-12-10

    申请号:CN201910896598.X

    申请日:2019-09-23

    Abstract: 本发明一种碳化硅表面改性方法,采用PVD(物理气相沉积)改性,先将基片清洗干净,检测改性前粗糙度,后放入整洁的镀膜机内,同时,在镀膜机相应位置放入膜料镍(Ni)、硅(Si);提高镀膜机真空室内的真空度,达到改性标准后,先镀制膜料镍(Ni)、在镀制膜料硅(Si),改性完成后检测粗糙度。相比较于传统PVD(物理气相沉积)改性方法,本方法可以直接降低基片表面粗糙度,省去改性后光学研抛过程,节省了光学研抛过程中耗费的人力、物力、财力,规避了相应的风险。

    一种通用型气动自定心重力卸载装置

    公开(公告)号:CN115597831A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211057283.4

    申请日:2022-08-31

    Abstract: 本发明提供一种通用型气动自定心重力卸载装置,包括底板、衬板、气缸、支撑柱、导向柱、位移传感器、升降电机和供气控制柜,底板支撑衬板,气缸、支撑柱、导向柱、位移传感器、升降电机安装到底板上;气缸经气路归集后与气控系统相连,用来提供卸载支撑力;三个导向柱在底板边缘相隔120°均匀分布,以此限定衬板位置;位移传感器和升降电机在底板上均相隔120°均匀分布,且升降电机位置与反射镜嵌套的位置一致;支撑柱在底板上,用来支撑衬板,衬板支撑反射镜,衬板加工有对应气缸、导向柱、位移传感器和升降电机位置的通孔;本发明满足4m口径内的反射镜光轴竖直检测需求,卸载力精确可控,反射镜在本装置上定心速度快,精度高,提高了检测效率。

    一种圆弧金刚石砂轮电火花与机械复合修整装置

    公开(公告)号:CN103522190B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201310532718.0

    申请日:2013-10-31

    Abstract: 一种圆弧金刚石砂轮电火花与机械复合修整装置,它涉及一种金刚石砂轮修整装置,以解决现有的圆弧金刚石砂轮用修整设备功能单一,修整效率较低以及修整成本较高的问题,它包括第一电机、第一蜗轮蜗杆减速机、第二电机、第二蜗轮蜗杆减速机、机座、支座、丝杠、固定架、砂轮轴、第三电机、绝缘垫木、带轮、传动带、第一旋拧件、第二旋拧件、弹簧、碳刷、高频脉冲电源和修整轮;第一蜗轮蜗杆减速机安装在机座上,支座的上端安装有第二蜗轮蜗杆减速机,第一旋拧件穿设在第二旋拧件内且第一旋拧件能沿第二旋拧件的轴向往复运动,第一旋拧件与弹簧的一端连接,碳刷与弹簧的另一端连接。本发明用于圆弧金刚石砂轮的修整。

    一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法

    公开(公告)号:CN111076899B

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN201911269722.6

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6‑8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8‑10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。

    一种碳化硅表面改性方法

    公开(公告)号:CN110551979B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201910896598.X

    申请日:2019-09-23

    Abstract: 本发明一种碳化硅表面改性方法,采用PVD(物理气相沉积)改性,先将基片清洗干净,检测改性前粗糙度,后放入整洁的镀膜机内,同时,在镀膜机相应位置放入膜料镍(Ni)、硅(Si);提高镀膜机真空室内的真空度,达到改性标准后,先镀制膜料镍(Ni)、在镀制膜料硅(Si),改性完成后检测粗糙度。相比较于传统PVD(物理气相沉积)改性方法,本方法可以直接降低基片表面粗糙度,省去改性后光学研抛过程,节省了光学研抛过程中耗费的人力、物力、财力,规避了相应的风险。

    一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法

    公开(公告)号:CN111076899A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201911269722.6

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6-8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8-10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。

    一种圆弧金刚石砂轮电火花与机械复合修整装置

    公开(公告)号:CN103522190A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201310532718.0

    申请日:2013-10-31

    CPC classification number: B24B53/06

    Abstract: 一种圆弧金刚石砂轮电火花与机械复合修整装置,它涉及一种金刚石砂轮修整装置,以解决现有的圆弧金刚石砂轮用修整设备功能单一,修整效率较低以及修整成本较高的问题,它包括第一电机、第一蜗轮蜗杆减速机、第二电机、第二蜗轮蜗杆减速机、机座、支座、丝杠、固定架、砂轮轴、第三电机、绝缘垫木、带轮、传动带、第一旋拧件、第二旋拧件、弹簧、碳刷、高频脉冲电源和修整轮;第一蜗轮蜗杆减速机安装在机座上,支座的上端安装有第二蜗轮蜗杆减速机,第一旋拧件穿设在第二旋拧件内且第一旋拧件能沿第二旋拧件的轴向往复运动,第一旋拧件与弹簧的一端连接,碳刷与弹簧的另一端连接。本发明用于圆弧金刚石砂轮的修整。

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