一种离轴非球面反射镜离焦量的高精度检测方法

    公开(公告)号:CN116222418A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202211658791.8

    申请日:2022-12-22

    Abstract: 本发明公开了一种离轴非球面反射镜离焦量的高精度检测方法,包括:利用激光跟踪仪的测量结果,确定初始参数信息;搭建检测光路;计算得到在检测光路下激光跟踪仪靶球A与计算全息片A面中心的距离;对待加工离轴非球面反射镜进行加工;在每次加工后,进行加工过程中的面形检测,得到每次加工后的离轴非球面反射镜的面形误差;当面形误差满足设定阈值时,进行面形终检,得到最终加工面形对应的实际顶点曲率半径。本发明在全息计算干涉检测的基础上利用激光跟踪仪,解决了离轴非球面反射镜面形精度和离焦量的快速同步高精度测量问题,在加工过程中严格限定离轴非球面反射镜在检测光路中的位置,提供包含准确几何参数误差的面形误差指导加工。

    一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法

    公开(公告)号:CN111076898A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201911215298.7

    申请日:2019-12-02

    Abstract: 本发明公开了一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法,所述方法包括如下步骤:(1)给出CGH补偿器;(2)在中心偏测量仪上将CGH补偿器的光轴调整到与中心偏测量仪的转台同轴;(3)保持CGH补偿器在中心偏测量仪转台上的位置不变,用激光跟踪仪测量中心偏测量仪的转轴,并测量CGH补偿器光轴和设置于CGH补偿器边角的个第一跟踪仪靶球的相对位置关系;(4)搭建CGH补偿器测量非球面反射镜面形的测试光路;(5)激光跟踪仪架设在测试光路中,测试CGH补偿器上的4个第一跟踪仪靶球位置,利用激光跟踪仪的坐标转换复现CGH补偿器的光轴,在此测试光路中即等效于非球面反射镜的光轴。本发明使得测量精度更高。

    一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法

    公开(公告)号:CN111076898B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201911215298.7

    申请日:2019-12-02

    Abstract: 本发明公开了一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法,所述方法包括如下步骤:(1)给出CGH补偿器;(2)在中心偏测量仪上将CGH补偿器的光轴调整到与中心偏测量仪的转台同轴;(3)保持CGH补偿器在中心偏测量仪转台上的位置不变,用激光跟踪仪测量中心偏测量仪的转轴,并测量CGH补偿器光轴和设置于CGH补偿器边角的个第一跟踪仪靶球的相对位置关系;(4)搭建CGH补偿器测量非球面反射镜面形的测试光路;(5)激光跟踪仪架设在测试光路中,测试CGH补偿器上的4个第一跟踪仪靶球位置,利用激光跟踪仪的坐标转换复现CGH补偿器的光轴,在此测试光路中即等效于非球面反射镜的光轴。本发明使得测量精度更高。

    一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法

    公开(公告)号:CN111076899A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201911269722.6

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6-8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8-10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。

    一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法

    公开(公告)号:CN111076899B

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN201911269722.6

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6‑8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8‑10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。

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