一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法

    公开(公告)号:CN111076899B

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN201911269722.6

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6‑8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8‑10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。

    一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜

    公开(公告)号:CN114488371A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111564606.4

    申请日:2021-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜,包括反射镜基底,以及在反射镜基底上依次附着的金属主反射层,间隔层,反射率调控层和光谱平坦度调控层;其中金属主反射层为铝,银,金或铬,间隔层为Al2O3,反射率调控层为铬,光谱平坦度调控层包含交替排布的低折射率层和高折射率层,本发明为获得覆盖整个可见光区450nm‑900nm的宽光谱、低反射率和低透过率反射镜,在膜层中使用吸收系数较大的金属材料和介质材料组成的膜堆,从而实现了对反射率和透过率的控制,本发明反射镜对波长为450nm‑900nm的入射光的反射率在30%~80%之间,透过率小于0.1%。

    一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜

    公开(公告)号:CN114488371B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202111564606.4

    申请日:2021-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜,包括反射镜基底,以及在反射镜基底上依次附着的金属主反射层,间隔层,反射率调控层和光谱平坦度调控层;其中金属主反射层为铝,银,金或铬,间隔层为Al2O3,反射率调控层为铬,光谱平坦度调控层包含交替排布的低折射率层和高折射率层,本发明为获得覆盖整个可见光区450nm‑900nm的宽光谱、低反射率和低透过率反射镜,在膜层中使用吸收系数较大的金属材料和介质材料组成的膜堆,从而实现了对反射率和透过率的控制,本发明反射镜对波长为450nm‑900nm的入射光的反射率在30%~80%之间,透过率小于0.1%。

    一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法

    公开(公告)号:CN111076899A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201911269722.6

    申请日:2019-12-11

    Abstract: 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法,属于先进光学制造与检测领域;步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线;步骤二、搭建非球面竖直检测系统;步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6-8个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面;步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8-10个靶球;通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线;步骤五、确定投影轴线O′M;步骤六、通过调整台调整待测反射镜,实现机械轴线与投影轴线O′M重合,完成调整;本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置,具有调整精度高的特点,十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。

Patent Agency Ranking