公开(公告)号：CN119737885A

公开(公告)日：2025-04-01

申请号：CN202411842761.1

申请日：2024-12-13

Applicant: 北京空间机电研究所

Inventor： 栗孟娟 ,  吕天斌 ,  李依伦 ,  李昂 ,  乔国宝 ,  于长锁 ,  梁慧龙 ,  张兆健 ,  王超 ,  王经华 ,  赵子跃

IPC: G01B11/24

Abstract: 用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法，(1)选取圆形离轴凸非球面1作为测量标准件，用干涉仪配合Hindle球测量圆形离轴凸非球面1，保存面形测量结果1；(2)用光学轮廓扫描仪测量圆形离轴凸非球面1，保存面形测量结果2；(3)将测量结果1和测量结果2进行分析处理得到面形测量误差△；(4)计算标准件离轴凸非球面1和被测件离轴凸非球面2的光学表面特定环带上法线角度的变化趋势、差值，以及轮廓仪测试时传感器角度与法线角度的差值；(5)上一步计算的法线角度差值、传感器角度与法线角度的差值作为误差校准参数，根据误差校准参数，调整面形基准测量误差△，即得到误差标定结果△′；(6)用光学轮廓仪测量被测件离轴凸非球面2的面形，测量结果消除△′，得到凸非球面2的准确面形。