用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法

    公开(公告)号:CN119737885A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411842761.1

    申请日:2024-12-13

    Abstract: 用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法,(1)选取圆形离轴凸非球面1作为测量标准件,用干涉仪配合Hindle球测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果1;(2)用光学轮廓扫描仪测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果2;(3)将测量结果1和测量结果2进行分析处理得到面形测量误差△;(4)计算标准件离轴凸非球面1和被测件离轴凸非球面2的光学表面特定环带上法线角度的变化趋势、差值,以及轮廓仪测试时传感器角度与法线角度的差值;(5)上一步计算的法线角度差值、传感器角度与法线角度的差值作为误差校准参数,根据误差校准参数,调整面形基准测量误差△,即得到误差标定结果△′;(6)用光学轮廓仪测量被测件离轴凸非球面2的面形,测量结果消除△′,得到凸非球面2的准确面形。

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