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公开(公告)号:CN116380419A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202211604465.9
申请日:2022-12-13
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明公开了一种检测两面共体大口径非球面反射镜光轴一致性的装置和方法,属于光学零件加工与检测技术领域。该装置包括干涉仪、2个CGH补偿器。在干涉检测光路中将两个非球面表面的光轴通过精密调整和严格标定后引出到CGH补偿器上,CGH特定区域发出平行光,经另一片CGH反射后在干涉仪中形成表征两片CGH补偿器夹角的干涉条纹,观察统计干涉条纹数量解算出两非球面的光轴一致性偏差。相对于传统干涉测量法检测光轴需要引出机械基准、使用经纬仪等高精度检测仪器,具有检测精度高、误差源少,检测成本低的优点。
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公开(公告)号:CN119737885A
公开(公告)日:2025-04-01
申请号:CN202411842761.1
申请日:2024-12-13
Applicant: 北京空间机电研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法,(1)选取圆形离轴凸非球面1作为测量标准件,用干涉仪配合Hindle球测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果1;(2)用光学轮廓扫描仪测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果2;(3)将测量结果1和测量结果2进行分析处理得到面形测量误差△;(4)计算标准件离轴凸非球面1和被测件离轴凸非球面2的光学表面特定环带上法线角度的变化趋势、差值,以及轮廓仪测试时传感器角度与法线角度的差值;(5)上一步计算的法线角度差值、传感器角度与法线角度的差值作为误差校准参数,根据误差校准参数,调整面形基准测量误差△,即得到误差标定结果△′;(6)用光学轮廓仪测量被测件离轴凸非球面2的面形,测量结果消除△′,得到凸非球面2的准确面形。
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公开(公告)号:CN117754363A
公开(公告)日:2024-03-26
申请号:CN202311723217.0
申请日:2023-12-14
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明提供了一种大尺寸异形锗单晶非球面透镜高效制造方法,包括:按照透镜异形轮廓的最大外接圆进行圆柱形镜坯成型,并对透镜基准面、两侧型面进行铣磨加工;采用单点金刚石车削透镜形位基准;采用工业机器人加工平台对透镜型面进行复合研抛;采用离子束抛光方式对透镜型面进行终抛光;对抛光后透镜进行切割,获得异形透镜。本发明方法解决现有技术方法中难以满足大尺寸异形锗单晶高次非球面透镜制造过程中存在的加工精度差、边缘误差大、关键几何参数易超差及表面质量难以有效控制等问题,实现大尺寸异形锗单晶高次非球面透镜的高质量加工。
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