压电体薄膜接合基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN116896971A

    公开(公告)日:2023-10-17

    申请号:CN202310206520.7

    申请日:2023-03-03

    Abstract: 压电体薄膜接合基板及其制造方法,该高性能的压电体薄膜接合基板在同一基板上设置有2种以上的压电膜。压电体薄膜接合基板(100)具有:基板(33);第1电极(34a);第1压电体薄膜(17),其粘贴于第1电极,具有第1压电膜(15)和形成于其上的第1上部电极膜(16);第2电极(34b);以及第2压电体薄膜(27),其粘贴于第2电极,具有与第1压电膜(15)不同的第2压电膜(25)和形成于其上的第2上部电极膜(26),从形成有第1电极(34a)和第2电极(34b)的基板(33)的上表面到第1上部电极膜(16)的顶部的高度和从基板(33)的所述上表面到第2上部电极膜(26)的顶部的高度不同。

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