底栅型薄膜晶体管、其制造方法及显示装置

    公开(公告)号:CN102623344A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210074536.9

    申请日:2007-11-20

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L27/1225

    Abstract: 本发明涉及底栅型薄膜晶体管、其制造方法及显示装置。提供一种底栅型薄膜晶体管的制造方法,其包括:在衬底上形成栅电极;形成第一绝缘膜和氧化物半导体层;对所述第一绝缘膜和所述氧化物半导体层进行构图;在包含氧化气体的气氛中形成第二绝缘膜;以及对所述第二绝缘膜进行构图,以覆盖所述氧化物半导体层的沟道区域的至少一部分。

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