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公开(公告)号：CN109708766A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910002036.6
申请日：2019-01-02
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种采用声波谐振器和碳纳米管的探测器及其制造方法，探测器包括声波谐振器，所述的声波谐振器包括衬底，在所述的声波谐振器远离衬底的一侧设有碳纳米管。制造方法为在声波谐振器远离衬底的一侧生长碳纳米管。其优点在于：所述的探测器响应时间短、灵敏度高，同时具有较高的工作频率，具有在无线通信领域的应用前景。
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公开(公告)号：CN108987525A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810578809.0
申请日：2018-06-07
Applicant: 华南理工大学 , 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01L31/108 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种MSM光电探测器及其制作方法，该MSM光电探测器包括衬底以及设置在衬底上的二维半导体材料薄片和两个金属电极，所述二维半导体材料薄片的厚度均匀且具有不对称的几何结构，所述两个金属电极相对地设置在二维半导体材料薄片的两个边缘上，且两个金属电极与二维半导体材料薄片的接触长度不同。本发明的MSM光电探测器具有自驱动的功能、较低的探测极限以及较高可靠性，而且本探测器结构优良，制作工艺简单，生产成本低，可广泛应用于半导体行业中。
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公开(公告)号：CN119970026A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510008823.7
申请日：2025-01-03
Applicant: 华南理工大学
IPC: A61B5/1455 , A61B5/00
Abstract: 本发明公开基于Gr‑WSe2‑Pt柔性光电传感器的血氧饱和度测算方法及系统，涉及医疗设备内置技术，针对现有技术中问题提出本方案。主要在于利用柔性光电传感器采集光信号，再利用FPGA开发板做27组电信号的中值更新运算，再利用FPGA开发板提取10秒内实时更新的49974个中值的极值。最后利用2.5亿个时钟周期控制两个波长的光源分别进行周期性输出，基于血氧饱和度计算公式得到血氧饱和度值。优点在于，使用简易光源与柔性贴片式传感器，使得探测部分能够贴在皮肤上。既降低了运动导致的测量误差，也能减少穿戴不适感。同时采用一种简易的算法对测量得到的PPG信号进行计算处理，在能良好抑制噪声的前提下降低对处理器的要求。
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公开(公告)号：CN118742052A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410378064.9
申请日：2024-03-29
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于协同效应的自驱动光电探测器及制备方法，涉及半导体光电探测领域，针对现有技术中自驱动性能较弱的问题提出本方案。包括层叠在背栅层上的介质层；在所述介质层上端面一侧设有第一电极，另一侧设有第二电极；所述第一电极和第二电极互为异质金属；铺设二维沟道层分别与所述第一电极和第二电极肖特基接触；所述二维沟道层与第一电极边缘的接触长度大于与第二电极边缘的接触长度。优点在于，器件两侧具有不同功函数的电极、两侧电极与半导体具有非对称的接触长度，可以实现增强的自驱动性能，同时无需外场诱导，整体的制备、探测过程简单易重复。
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公开(公告)号：CN118398670A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410866907.X
申请日：2024-07-01
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L29/24 , H01L29/45 , H01L29/49 , H01L29/51 , H10N30/20 , H10N30/853 , H10N39/00
Abstract: 本发明公开了一种基于声表面波及二维材料的晶体管，针对现有技术中二维材料晶体管对载流子种类调控困难而提出本方案。二维材料堆叠区在压电层上表面依次层叠二维材料栅电极、栅介质层和二维材料沟道层；二维材料沟道层上表面分别设置漏极和源极；在栅源电压大于正阈值电压时为N型器件；在栅源电压小于负阈值电压时为P型器件；声波发生组件产生的声波通过压电层传输至二维材料堆叠区，并通过声电效应产生周期变化的电场以调控二维材料沟道层中载流子的运动。优点在于，在单个晶体管内只利用单一沟道层即可了实现N型和P型的自由转换。利用非接触的方式定向操控载流子运动，提高了对器件的调控能力；避免器件因其他调控手段复杂而增大尺寸。
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公开(公告)号：CN118354655A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410409133.8
申请日：2024-04-07
Applicant: 华南理工大学
IPC: H10N15/10
Abstract: 本发明公开了一种自补偿式红外探测器及其制作方法，涉及半导体领域，针对现有技术中红外探测器的抗干扰能力差的问题提出本方案。主要通过设置无吸收层结构的补偿单元以及带有吸收层结构的感受单元，以二者间的信号差值来作为红外探测器的输出。优点在于，通过使用自补偿式结构极大地降低了环境温度背景信号和震动对探测器性能的干扰，能够解决目前红外探测器抗干扰能力差的问题，可广泛应用于微纳传感器件的设计制备领域。
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公开(公告)号：CN117897040A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311811557.9
申请日：2023-12-26
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种横向结构忆阻器及其制备方法和应用。本发明的横向结构忆阻器的组成包括依次层叠设置的金衬底、二硫化钨层和氮化铝层，二硫化钨层远离金衬底的那一面还设置有第一电极，氮化铝层远离二硫化钨层的那一面还设置有第二电极。本发明的横向结构忆阻器的制备方法包括以下步骤：1)在金衬底上制备二硫化钨层；2)在二硫化钨层上制备氮化铝层；3)制备第一电极和第二电极。本发明的横向结构忆阻器具有防串扰性能好、存储窗口大、结构简单、集成性高等优点，可以用于新型存储器件，且其制备工艺简单、生产成本低，适合进行大规模工业化应用。
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公开(公告)号：CN114513186B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202210089558.6
申请日：2022-01-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种高频声表面波谐振器及其制备方法，涉及5G通信的微电子器件，针对现有技术中键合转移温度高和机电耦合系数低等问题提出本方案。在高声速衬底远离第一衬底的端面设置第一键合金属层，在压电薄膜远离叉指电极的端面设置第二键合金属层，通过第一键合金属层与第二键合金属层完成压电薄膜与高声速衬底的键合处理。优点在于，与低温金属键合工艺兼容，金属键合的工作温度更低，可以大大降低器件的热应力。其次金属键合可以使得键合界面获得更大的键合能，器件更稳定。另外，以X切铌酸锂为压电薄膜，且叉指电极的垂直方向与压电薄膜Z轴成44°夹角，可以获得更高的机电耦合系数，从而提高器件的带宽。
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公开(公告)号：CN115299909A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210915984.0
申请日：2022-08-01
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种采用硬件实现的PPG波形及心率探测系统，包括：红外光电传感器，用于探测人体指尖的脉动波形，获得脉动信号；模数转换器，用于对脉动信号进行模数转换，获得脉搏波信号；脉搏波信号处理模块，包括心率硬件计数单元和心率波形像素硬件处理单元，心率硬件计数单元用于根据脉搏波信号计算心率值，并控制显示屏显示心率值；心率波形像素硬件处理单元用于根据脉搏波信号控制显示屏显示PPG波形；显示屏，用于显示PPG波形和心率值。本发明相对于现有的软件处理脉搏波信号，使用硬件处理可以使系统整体功耗更低，速度更快，面积更小，从而更有市场竞争力。本发明可广泛应用于医疗设备及人体信号检测技术领域。
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