公开(公告)号：CN114513186B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202210089558.6

申请日：2022-01-25

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 周长见 ,  李丹花 ,  郭思聪 ,  张传俊 ,  邓永健

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02 ,  H03H9/145

Abstract: 本发明公开了一种高频声表面波谐振器及其制备方法，涉及5G通信的微电子器件，针对现有技术中键合转移温度高和机电耦合系数低等问题提出本方案。在高声速衬底远离第一衬底的端面设置第一键合金属层，在压电薄膜远离叉指电极的端面设置第二键合金属层，通过第一键合金属层与第二键合金属层完成压电薄膜与高声速衬底的键合处理。优点在于，与低温金属键合工艺兼容，金属键合的工作温度更低，可以大大降低器件的热应力。其次金属键合可以使得键合界面获得更大的键合能，器件更稳定。另外，以X切铌酸锂为压电薄膜，且叉指电极的垂直方向与压电薄膜Z轴成44°夹角，可以获得更高的机电耦合系数，从而提高器件的带宽。

公开(公告)号：CN111286251A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN202010139362.4

申请日：2020-03-03

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 潘朝群 ,  康英姿 ,  张传俊

IPC: C09D153/02 ,  C09D157/02 ,  C09D125/16 ,  C09D145/02 ,  C09D145/00 ,  C09D5/22 ,  C09D7/63 ,  H05K1/02

Abstract: 本发明属于印制电路板表面防护技术领域，具体涉及一种基于合成橡胶体系的环保型三防漆及其制备方法与应用。按重量份计，该三防漆组成为：树脂10～30份，增黏剂5～25份、抗氧剂0.1～3.0份、有机溶剂45～85份、荧光指示剂0.001～0.01份，固化方式为室温下溶剂挥发型固化。与其他主流三防漆相比，本方法所需原料较少且市场分布广泛，制备工艺简单易行，成本低廉，绿色环保，不含苯、甲苯等高毒性物质。由该方法制备的基于合成橡胶体系的三防漆性质稳定，表干时间短，具备良好的光泽度、附着性能与耐腐蚀性能等特点。

公开(公告)号：CN114513186A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202210089558.6

申请日：2022-01-25

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 周长见 ,  李丹花 ,  郭思聪 ,  张传俊 ,  邓永健

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02 ,  H03H9/145

Abstract: 本发明公开了一种高频声表面波谐振器及其制备方法，涉及5G通信的微电子器件，针对现有技术中键合转移温度高和机电耦合系数低等问题提出本方案。在高声速衬底远离第一衬底的端面设置第一键合金属层，在压电薄膜远离叉指电极的端面设置第二键合金属层，通过第一键合金属层与第二键合金属层完成压电薄膜与高声速衬底的键合处理。优点在于，与低温金属键合工艺兼容，金属键合的工作温度更低，可以大大降低器件的热应力。其次金属键合可以使得键合界面获得更大的键合能，器件更稳定。另外，以X切铌酸锂为压电薄膜，且叉指电极的垂直方向与压电薄膜Z轴成44°夹角，可以获得更高的机电耦合系数，从而提高器件的带宽。