公开(公告)号：CN108502843A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201810266220.7

申请日：2018-03-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  李杰 ,  申冲 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  黄堃 ,  张英杰

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00404 ,  B81C1/00349

Abstract: 本发明涉及硅微杯形谐振陀螺的加工方法，具体是一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法。本发明解决了深硅刻蚀法加工出的硅微杯形谐振陀螺深宽比小、表面光滑度低的问题。一种基于多晶硅生长法的硅微杯形谐振陀螺加工方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：在圆形硅基片的上表面生长第I氮化硅层；步骤b：在圆形硅基片的上表面刻蚀形成圆形凹腔；步骤c：将第I氮化硅层和第II氮化硅层去除；步骤d：在二氧化硅层的表面生长多晶硅层；步骤e：刻蚀形成第II圆环形窗口；步骤f：再次生长二氧化硅层；步骤g：将圆环形硅凸台腐蚀掉；步骤h：将二氧化硅层的暴露部分腐蚀掉。本发明适用于硅微杯形谐振陀螺的加工。

公开(公告)号：CN106597012A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201710036155.4

申请日：2017-01-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  韩兴宇 ,  石云波 ,  黄堃 ,  曹慧亮 ,  梁涛

IPC: G01P15/03

CPC classification number: G01P15/032

Abstract: 本发明一种基于光强调制型MOEMS加速度计属于微电子系统领域，解决了现有传感器在特殊情况下存在电磁干扰的问题，采用的技术方案为：包括从下到上依次设置的衬底层、中间层以及器件层，其特征在于：器件层中部设置有质量块，质量块通过四个直连接梁固支于锚点，质量块的上下两边对称设有V形镜，V形镜正对面设有输入光纤卡槽，输入光纤卡槽的两侧对称设有输出光纤卡槽。

公开(公告)号：CN106597011A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201611205923.6

申请日：2016-12-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  曹慧亮 ,  任建军 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  黄堃 ,  康强 ,  冯恒振 ,  寇志伟 ,  连树仁 ,  孙亚楠 ,  韩兴宇

IPC: G01P15/02

CPC classification number: G01P15/02 ,  G01P2015/0862

Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。

公开(公告)号：CN118655504A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202411150959.3

申请日：2024-08-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 林振楠 ,  黄堃 ,  闫仕农 ,  冉桂豪 ,  张子川

IPC: G01R33/032 ,  G01R33/00 ,  H01P7/06 ,  H01P11/00

Abstract: 本发明属于固态量子传感技术领域，特别公开了一种自旋态的微波谐振腔及其制作工艺，采用的技术方案为：在主腔体内部设置第一填充介质和第二填充介质，含NV色心的金刚石、透镜、滤光片位于第一填充介质中部，含NV色心的金刚石位于滤光片上方；从腔体上方激光入射孔引入532 nm波长激光激发含NV色心的金刚石；在腔体下方预留荧光收集孔放入光电探测器收集荧光信号；在腔体侧壁预留同轴线耦合环结构插孔，同轴线耦合环结构内导体弯成环一端接于腔体内壁，另一端连接微波源，本发明以微波谐振腔为核心集成设计各功能部件，使微波磁场高效集中在腔体中轴线上，为含NV色心的金刚石提供均匀的微波磁场环境，最大化提高含NV色心的金刚石磁强计灵敏度。

公开(公告)号：CN110638429B

公开(公告)日：2022-01-07

申请号：CN201910996646.2

申请日：2019-10-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 高晋阳 ,  王瑾 ,  张增磊 ,  郭文村 ,  段树文 ,  王天豪 ,  石云波 ,  曹慧亮 ,  黄堃 ,  刘俊

IPC: A61B5/00 ,  A61B5/07 ,  F16H1/32 ,  F16H57/023 ,  H02K7/116

Abstract: 本发明涉及肠道诊查机器人，具体是一种用于肠道诊查的链轮链条式径向扩张机构。本发明解决了现有肠道诊查机器人的扩张机构故障率高、工作效率低的问题。一种用于肠道诊查的链轮链条式径向扩张机构，包括机壳部分、减速子机构、执行子机构；所述机壳部分包括第I圆杯形壳体、第II圆杯形壳体；所述减速子机构包括直流电机、第I太阳齿轮、第I行星齿轮、内齿圈、十字行星架、第I轮轴、十字支撑架、中心轴、轴承；所述执行子机构包括第II太阳齿轮、第II行星齿轮、第III行星齿轮、第II轮轴、链轮、第III轮轴、链条、枢轴、径向推杆、弧槽形推片。本发明适用于肠道诊查机器人。

公开(公告)号：CN110584569B

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN201910898413.9

申请日：2019-09-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 高晋阳 ,  王瑾 ,  张增磊 ,  段树文 ,  郭文村 ,  石云波 ,  曹慧亮 ,  黄堃 ,  刘俊

IPC: A61B1/00 ,  A61B1/04 ,  A61B1/31

Abstract: 本发明涉及肠道诊查机器人，具体是一种用于肠道诊查的行星轮式径向扩张机构。本发明解决了现有肠道诊查机器人的扩张机构容易发生机械故障、容易划伤肠道内壁的问题。一种用于肠道诊查的行星轮式径向扩张机构，包括机壳部分、减速子机构、执行子机构；所述机壳部分包括第I圆杯形壳体、第II圆杯形壳体、圆形套筒、圆形挡板；所述减速子机构包括直流电机、第I太阳齿轮、第I行星齿轮、内齿圈、第I三角行星架、第II三角行星架、第I轮轴、三角支撑架、中心轴；所述执行子机构包括第II太阳齿轮、第II行星齿轮、第III行星齿轮、第III三角行星架、第IV三角行星架、第II轮轴、L形连杆、径向推杆、弧槽形推片。本发明适用于肠道诊查机器人。

公开(公告)号：CN109059893B

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201811225124.4

申请日：2018-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  马翊翔 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  苏磬

IPC: G01C19/42

Abstract: 本发明涉及双轴陀螺仪，具体是一种单片集成的双轴硅微陀螺仪。本发明解决了现有双轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种单片集成的双轴硅微陀螺仪，包括玻璃基底、正方形框架、驱动模块、x轴检测模块、z轴检测模块、驱动检测模块；所述驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁；所述x轴检测模块包括纵向条形x轴检测板、四个x轴检测梳齿、左二弹性解耦悬梁、右二弹性解耦悬梁。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN108328568B

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201810135219.0

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  孙亚楠 ,  唐军 ,  李杰 ,  赵锐 ,  曹慧亮 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  寇志伟 ,  任建军 ,  赵永祺 ,  赵思晗

IPC: B81C1/00 ,  G01P15/12

Abstract: 本发明涉及压阻式加速度传感器，具体是一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法。本发明解决了现有压阻式加速度传感器在高温环境下使用时稳定性和可靠性差的问题。一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：准备正方形SiC基底；步骤b：对正方形SiC基底进行减薄；步骤c：在正方形SiC基底的背面刻蚀形成口字形凹腔和正方形质量块；步骤d：将正方形n型外延层刻蚀成为四个长方形压敏电阻条；步骤e：沉积氧化层；步骤f：溅射正方形金属层；步骤g：在氧化层的正面和口字形凹腔的底面之间刻蚀形成四个正方形通孔。本发明适用于军事国防、航空航天等领域。

公开(公告)号：CN109163717A

公开(公告)日：2019-01-08

申请号：CN201811303962.9

申请日：2018-11-03

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  王亚中 ,  刘俊 ,  石云波 ,  申冲 ,  唐军 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  曹思宇

IPC: G01C19/02

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种基于轮-环形式的单片三轴MEMS陀螺仪。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种基于轮-环形式的单片三轴MEMS陀螺仪，包括玻璃基底、驱动结构、x轴敏感结构、y轴敏感结构、z轴敏感结构；所述驱动结构包括圆柱形中心锚体、圆环形驱动质量块、四根直形弹性支撑悬梁、八个可动驱动梳齿、八对固定驱动梳齿；所述x轴敏感结构包括第I圆环形敏感质量块、两根第I三角形弹性支撑悬梁、两个第I弧形电极；所述y轴敏感结构包括第II圆环形敏感质量块、两根第II三角形弹性支撑悬梁、两个第II弧形电极。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN108328568A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810135219.0

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  孙亚楠 ,  唐军 ,  李杰 ,  赵锐 ,  曹慧亮 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  寇志伟 ,  任建军 ,  赵永祺 ,  赵思晗

IPC: B81C1/00 ,  G01P15/12

CPC classification number: B81C1/00349 ,  G01P15/12

Abstract: 本发明涉及压阻式加速度传感器，具体是一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法。本发明解决了现有压阻式加速度传感器在高温环境下使用时稳定性和可靠性差的问题。一种适应于高温环境的SiC压阻式加速度传感器制备方法，该方法是采用如下步骤实现的：步骤a：准备正方形SiC基底；步骤b：对正方形SiC基底进行减薄；步骤c：在正方形SiC基底的背面刻蚀形成口字形凹腔和正方形质量块；步骤d：将正方形n型外延层刻蚀成为四个长方形压敏电阻条；步骤e：沉积氧化层；步骤f：溅射正方形金属层；步骤g：在氧化层的正面和口字形凹腔的底面之间刻蚀形成四个正方形通孔。本发明适用于军事国防、航空航天等领域。