-
公开(公告)号：CN106289214A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610918609.6
申请日：2016-10-21
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01C19/5684
CPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明涉及MEMS振动陀螺，具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题。一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、S形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域。
-
公开(公告)号：CN106643686A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610974326.3
申请日：2016-11-07
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一方波状弹性支撑悬梁、第二方波状弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁、第四片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
-
公开(公告)号：CN106643685A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610973782.6
申请日：2016-11-07
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01C19/5684
CPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺测量精度低、机械灵敏度低的问题。一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；所述电极部分包括外弧形电极、内弧形电极；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、方波状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
-
公开(公告)号：CN105241455A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510723294.5
申请日：2015-10-29
申请人： 中北大学
CPC分类号： G01C21/165 , B81B7/02
摘要： 本发明涉及微型定位-导航-授时系统（μPNT）的微装配技术，具体是一种基于TSV技术的μPNT微尺度立体堆叠方法。本发明解决了现有采用SOG技术的微型定位-导航-授时系统微装配方法加工难度过大、成品率过低、体积过大、适用范围受限、装配精度过低的问题。基于TSV技术的μPNT微尺度立体堆叠方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.选取一个玻璃层，并在玻璃层的上表面溅射金属引线层；b.选取一个硅层，并将硅层的下表面与玻璃层的上表面键合在一起；c.重复进行步骤a-b，由此得到若干个SOG；d.在各个SOG的硅层上刻蚀形成上下贯通的TSV。本发明适用于微型定位-导航-授时系统的微装配。
-
公开(公告)号：CN106289215B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201610918610.9
申请日：2016-10-21
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明涉及MEMS环形振动陀螺，具体是一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第一U形弹性支撑悬梁、第二U形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
-
公开(公告)号：CN106199071A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610476837.2
申请日：2016-06-27
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125
摘要： 本发明涉及MEMS电容式加速度传感器，具体是一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有MEMS电容式加速度传感器在高过载条件下无法实现稳定输出、无法实现高精度与抗高过载的动态平衡的问题。一种抗高过载低量程电容式加速度传感器，包括四悬臂梁结构和玻璃电极结构；所述四悬臂梁结构包括硅边框、硅质量块、四个硅悬臂梁、八个二氧化硅防护台；所述玻璃电极结构包括两个玻璃基板、两个金属电极。本发明适用于卫星导航、导弹制导、炮弹定向、汽车防震保护、自动刹车、医疗服务等领域。
-
公开(公告)号：CN106289214B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201610918609.6
申请日：2016-10-21
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明涉及MEMS振动陀螺，具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题。一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、S形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域。
-
公开(公告)号：CN106199071B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610476837.2
申请日：2016-06-27
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 本发明涉及MEMS电容式加速度传感器，具体是一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有MEMS电容式加速度传感器在高过载条件下无法实现稳定输出、无法实现高精度与抗高过载的动态平衡的问题。一种抗高过载低量程电容式加速度传感器，包括四悬臂梁结构和玻璃电极结构；所述四悬臂梁结构包括硅边框、硅质量块、四个硅悬臂梁、八个二氧化硅防护台；所述玻璃电极结构包括两个玻璃基板、两个金属电极。本发明适用于卫星导航、导弹制导、炮弹定向、汽车防震保护、自动刹车、医疗服务等领域。
-
公开(公告)号：CN104569498A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510060548.X
申请日：2015-02-05
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01P21/00
摘要： 本发明涉及加速度传感器的抗过载能力分析方法，具体是一种高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法。本发明解决了现有加速度传感器的抗过载能力分析方法无法对高量程加速度传感器的抗过载能力进行分析的问题。高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.将高量程加速度传感器安装在炮弹上，并采用炮弹进行实弹侵彻试验；b.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的速度变化量；c.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量；d.将炮弹在实弹侵彻试验过程中损失的动能与高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量进行比较。本发明适用于高量程加速度传感器的可靠性分析。
-
公开(公告)号：CN106643686B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201610974326.3
申请日：2016-11-07
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一方波状弹性支撑悬梁、第二方波状弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁、第四片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
15 条记录 (耗时 0.02 秒)
