公开(公告)号：CN104360102A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201410702200.1

申请日：2014-11-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  陈艳香 ,  李祥 ,  李策 ,  智丹

IPC: G01P15/12 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及加速度传感器，具体是一种无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有压阻式高量程加速度传感器适用范围受限的问题。无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器，包括衬底、封闭空腔、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第三悬臂梁、第四悬臂梁、质量块、平面螺旋电感、第一压敏电阻、第二压敏电阻、第一电容、第二电容、第一线孔、第二线孔、第三线孔、第四线孔、第一电连线、第二电连线、第三电连线、第四电连线、第五电连线。本发明适用于加速度测量。

公开(公告)号：CN104360102B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201410702200.1

申请日：2014-11-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  陈艳香 ,  李祥 ,  李策 ,  智丹

IPC: G01P15/12 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及加速度传感器，具体是一种无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有压阻式高量程加速度传感器适用范围受限的问题。无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器，包括衬底、封闭空腔、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第三悬臂梁、第四悬臂梁、质量块、平面螺旋电感、第一压敏电阻、第二压敏电阻、第一电容、第二电容、第一线孔、第二线孔、第三线孔、第四线孔、第一电连线、第二电连线、第三电连线、第四电连线、第五电连线。本发明适用于加速度测量。

公开(公告)号：CN103995148B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201410205290.3

申请日：2014-05-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  郭涛 ,  李祥 ,  李策 ,  陈艳香 ,  杨志才

IPC: G01P15/12 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及一种能够实现水平向加速度测量的基于微梁检测结构的双轴MEMS面内高g传感器，包括硅基支撑框架和四个敏感结构，硅基支撑框架包括硅基边框和固连于硅基边框表面的中心处锚块；四个敏感结构均匀分布在中心处锚块四周，同一轴向的四个压敏电阻构成一个惠斯通全桥。本发明通过2个不同的单元，即X,Y两个方向相互独立的检测单元，可以分别检测X,Y两个方向，从而实现水平面内高g值加速度信号的测量。结构合理、简单，且加工工艺简单，横向灵敏度小，易于集成，具有良好的灵敏度和抗高过载能力，适用于测量高g值的冲击加速度。

公开(公告)号：CN104569498A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510060548.X

申请日：2015-02-05

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  李策 ,  陈艳香 ,  智丹 ,  周智君 ,  董胜飞 ,  杨志才 ,  冯恒振

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及加速度传感器的抗过载能力分析方法，具体是一种高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法。本发明解决了现有加速度传感器的抗过载能力分析方法无法对高量程加速度传感器的抗过载能力进行分析的问题。高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.将高量程加速度传感器安装在炮弹上，并采用炮弹进行实弹侵彻试验；b.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的速度变化量；c.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量；d.将炮弹在实弹侵彻试验过程中损失的动能与高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量进行比较。本发明适用于高量程加速度传感器的可靠性分析。

公开(公告)号：CN104569498B

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201510060548.X

申请日：2015-02-05

Applicant: 中北大学

Inventor： 石云波 ,  刘俊 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  李策 ,  陈艳香 ,  智丹 ,  周智君 ,  董胜飞 ,  杨志才 ,  冯恒振

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及加速度传感器的抗过载能力分析方法，具体是一种高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法。本发明解决了现有加速度传感器的抗过载能力分析方法无法对高量程加速度传感器的抗过载能力进行分析的问题。高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.将高量程加速度传感器安装在炮弹上，并采用炮弹进行实弹侵彻试验；b.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的速度变化量；c.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量；d.将炮弹在实弹侵彻试验过程中损失的动能与高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量进行比较。本发明适用于高量程加速度传感器的可靠性分析。

公开(公告)号：CN103995148A

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201410205290.3

申请日：2014-05-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  马宗敏 ,  郭涛 ,  李祥 ,  李策 ,  陈艳香 ,  杨志才

IPC: G01P15/12 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及一种能够实现水平向加速度测量的基于微梁检测结构的双轴MEMS面内高g传感器，包括硅基支撑框架和四个敏感结构，硅基支撑框架包括硅基边框和固连于硅基边框表面的中心处锚块；四个敏感结构均匀分布在中心处锚块四周，同一轴向的四个压敏电阻构成一个惠斯通全桥。本发明通过2个不同的单元，即X,Y两个方向相互独立的检测单元，可以分别检测X,Y两个方向，从而实现水平面内高g值加速度信号的测量。结构合理、简单，且加工工艺简单，横向灵敏度小，易于集成，具有良好的灵敏度和抗高过载能力，适用于测量高g值的冲击加速度。