公开(公告)号：CN109163717A

公开(公告)日：2019-01-08

申请号：CN201811303962.9

申请日：2018-11-03

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  王亚中 ,  刘俊 ,  石云波 ,  申冲 ,  唐军 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  曹思宇

IPC: G01C19/02

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种基于轮-环形式的单片三轴MEMS陀螺仪。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种基于轮-环形式的单片三轴MEMS陀螺仪，包括玻璃基底、驱动结构、x轴敏感结构、y轴敏感结构、z轴敏感结构；所述驱动结构包括圆柱形中心锚体、圆环形驱动质量块、四根直形弹性支撑悬梁、八个可动驱动梳齿、八对固定驱动梳齿；所述x轴敏感结构包括第I圆环形敏感质量块、两根第I三角形弹性支撑悬梁、两个第I弧形电极；所述y轴敏感结构包括第II圆环形敏感质量块、两根第II三角形弹性支撑悬梁、两个第II弧形电极。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN109163717B

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201811303962.9

申请日：2018-11-03

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  王亚中 ,  刘俊 ,  石云波 ,  申冲 ,  唐军 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  曹思宇

IPC: G01C19/02

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种基于轮‑环形式的单片三轴MEMS陀螺仪。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种基于轮‑环形式的单片三轴MEMS陀螺仪，包括玻璃基底、驱动结构、x轴敏感结构、y轴敏感结构、z轴敏感结构；所述驱动结构包括圆柱形中心锚体、圆环形驱动质量块、四根直形弹性支撑悬梁、八个可动驱动梳齿、八对固定驱动梳齿；所述x轴敏感结构包括第I圆环形敏感质量块、两根第I三角形弹性支撑悬梁、两个第I弧形电极；所述y轴敏感结构包括第II圆环形敏感质量块、两根第II三角形弹性支撑悬梁、两个第II弧形电极。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。