公开(公告)号：CN109059893B

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201811225124.4

申请日：2018-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  马翊翔 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  苏磬

IPC: G01C19/42

Abstract: 本发明涉及双轴陀螺仪，具体是一种单片集成的双轴硅微陀螺仪。本发明解决了现有双轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种单片集成的双轴硅微陀螺仪，包括玻璃基底、正方形框架、驱动模块、x轴检测模块、z轴检测模块、驱动检测模块；所述驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁；所述x轴检测模块包括纵向条形x轴检测板、四个x轴检测梳齿、左二弹性解耦悬梁、右二弹性解耦悬梁。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN109405819B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201811225125.9

申请日：2018-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  马翊翔 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  苏磬

IPC: G01C19/5733

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列包括玻璃基底、第一正方形框架、第一驱动模块、x轴检测模块、第一z轴检测模块、第一驱动检测模块、第二正方形框架、第二驱动模块、y轴检测模块、第二z轴检测模块、第二驱动检测模块；所述第一驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN109059893A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201811225124.4

申请日：2018-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  马翊翔 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  苏磬

IPC: G01C19/42

Abstract: 本发明涉及双轴陀螺仪，具体是一种单片集成的双轴硅微陀螺仪。本发明解决了现有双轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种单片集成的双轴硅微陀螺仪，包括玻璃基底、正方形框架、驱动模块、x轴检测模块、z轴检测模块、驱动检测模块；所述驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁；所述x轴检测模块包括纵向条形x轴检测板、四个x轴检测梳齿、左二弹性解耦悬梁、右二弹性解耦悬梁。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

公开(公告)号：CN109405819A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201811225125.9

申请日：2018-10-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  马翊翔 ,  刘俊 ,  石云波 ,  唐军 ,  申冲 ,  黄堃 ,  高晋阳 ,  邵星灵 ,  苏磬

IPC: G01C19/5733

Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列。本发明解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、生产成本高的问题。一种单片集成z轴冗余的三轴陀螺结构阵列包括玻璃基底、第一正方形框架、第一驱动模块、x轴检测模块、第一z轴检测模块、第一驱动检测模块、第二正方形框架、第二驱动模块、y轴检测模块、第二z轴检测模块、第二驱动检测模块；所述第一驱动模块包括左纵向条形可动驱动极板、右纵向条形可动驱动极板、两个左锚块、两个右锚块、两根左方波形弹性支撑悬梁、两根右方波形弹性支撑悬梁、八对左固定驱动极板、八对右固定驱动极板、左一弹性解耦悬梁、右一弹性解耦悬梁。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。