一种超声振动辅助抛光装置

    公开(公告)号:CN117484291B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311855119.2

    申请日:2023-12-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于碳化硅衬底材料抛光技术领域,解决了现有超声辅助化学机械抛光精度低、且适用性差的问题。提供了一种超声振动辅助抛光装置,超声振动单元通过十字滑台设置在机架的正面,能够相对机架横向、竖向滑动;超声振动单元包括阶梯轴、总套筒、微距调节机构和超声纵向振动机构;总套筒的内壁处设置有多道起限位作用的环形板;微距调节机构和超声纵向振动机构沿阶梯轴的轴向顺次设置;微距调节机构外接有压电陶瓷驱动器,压电陶瓷驱动器能够带动微距调节机构进行微距调节;超声纵向振动机构外接超声波发生器,超声波发生器能够带动超声纵向振动机构实现纵向的正弦振动。本装置能够实现对抛光精度的微米级调控和对不同规格的晶片的稳定吸附。

    一种偏心主轴压电微调控自加载双频超声复合式珩磨刀具

    公开(公告)号:CN117047572B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311301261.2

    申请日:2023-10-10

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及珩磨加工技术领域,具体是一种偏心主轴压电微调控自加载双频超声复合式珩磨刀具,其包括刀座、若干个压电陶瓷片A、端盖、紧固螺栓A、变幅杆、挠性螺杆、油石条、两个陀螺仪、前油石座、两根紧固螺栓B、两个压电陶瓷片B、后油石座、若干个压电陶瓷片C、前传动盘、紧固螺栓C、两个应变传感器、后传动盘、两根紧固螺栓D,其中,刀座的上端面中央开设有盲螺孔A,刀座的下端面中央开设有盲螺孔B,每个压电陶瓷片A的端面中央均贯通开设有紧固孔A,各个压电陶瓷片A自下而上层叠构成第一压电晶堆,其有效解决了现有珩磨加工技术加工效率较低、加工精度较差、加工范围受限的问题,适用于珩磨加工。(56)对比文件黄卫清;宁青双;安大伟;杨成龙.压电超声辅助研磨抛光技术研究进展.压电与声光.2019,(第02期),全文.

    一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具

    公开(公告)号:CN116690420B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310989096.8

    申请日:2023-08-08

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及磨削加工技术领域,具体是一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具,其包括超声纵扭变幅杆、纵扭压力调控装置、传感器安装盘A、桥式无线压阻传感器、传感器安装盘B、四个无线温度传感器、磨削盘、四根紧固螺栓,所述纵扭压力调控装置包括传动盘A、传动盘B、可压缩弹性环,其中,超声纵扭变幅杆为空心结构,超声纵扭变幅杆的侧壁下部贯通开设有导液孔A,超声纵扭变幅杆的下端壁中央贯通开设有导液孔B,超声纵扭变幅杆的下外端面边缘开设有四个沿周向等距排列的盲螺孔,其有效解决了现有磨削加工技术加工质量较差、加工效率较低、磨削刀具使用寿命较短的问题,适用于磨削加工。

    一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具

    公开(公告)号:CN116690420A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310989096.8

    申请日:2023-08-08

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及磨削加工技术领域,具体是一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具,其包括超声纵扭变幅杆、纵扭压力调控装置、传感器安装盘A、桥式无线压阻传感器、传感器安装盘B、四个无线温度传感器、磨削盘、四根紧固螺栓,所述纵扭压力调控装置包括传动盘A、传动盘B、可压缩弹性环,其中,超声纵扭变幅杆为空心结构,超声纵扭变幅杆的侧壁下部贯通开设有导液孔A,超声纵扭变幅杆的下端壁中央贯通开设有导液孔B,超声纵扭变幅杆的下外端面边缘开设有四个沿周向等距排列的盲螺孔,其有效解决了现有磨削加工技术加工质量较差、加工效率较低、磨削刀具使用寿命较短的问题,适用于磨削加工。

    桥式起重机的小车
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108217453A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201810099389.8

    申请日:2018-02-01

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: B66C9/16 B66B9/10 B66C13/06

    Abstract: 桥式起重机的小车,包括车体和两根主梁,车体顶端固定安装内部中空的底座,底座的宽度大于车体的宽度,底座内底部前后两端内壁分别通过轴承活动安装水平的螺杆,螺杆位于底座的中部,其中一根螺杆带有电机,两根螺杆的相对端通过一根连杆固定连接,两根螺杆的螺纹相反,每根螺杆上配合设有一个螺母,每个螺母顶端固定安装水平的活动杆,每根活动杆的两端分别铰接安装滑块。本发明可以根据不同主梁之间的距离进行调节,满足不同型号桥式起重机的维护平台安装需求,降低成本,并且同时也能对车体进行限定,防止车体的滚轮在移动过程中与主梁上的导轨内壁接触,避免产生啃轨现象,使其使用寿命延长。

    一种多颗磨粒划擦实验装置及方法

    公开(公告)号:CN116908031A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310961967.5

    申请日:2023-08-02

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及磨粒划擦实验技术领域,具体是一种多颗磨粒划擦实验装置及方法。本发明解决了现有磨粒划擦实验方法实验结果较为片面、实验结果准确度较低的问题。一种多颗磨粒划擦实验装置,包括呈水平设置的平面磨床工作台;平面磨床工作台的上表面固定有测力仪;测力仪的上表面固定有工件载台,且工件载台的上表面为前低后高的斜坡面;工件载台的上表面固定有碳化硅工件;碳化硅工件的上方设置有呈横向直立设置的砂轮;砂轮的前表面外边缘下部开设有装配豁槽A,且装配豁槽A的槽底与砂轮的后表面之间贯通开设有两个装配孔A;装配豁槽A内嵌装有工具头A,且工具头A的下表面位于装配豁槽A外。本发明适用于磨粒划擦实验。

    一种碳化硅单晶片的镀膜装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116676586A

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202310781428.3

    申请日:2023-06-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及单晶片技术领域,具体涉及一种碳化硅单晶片的镀膜装置,包括筒体,筒体的外侧设有循环控制组件,循环控制组件与外部的气体储存装置和气体回收装置连通,筒体的内侧壁对称的设有备料组件和气体支撑组件;本发明整体结构简单巧妙,通过循环控制组件可以对筒体内部的气体进行回收,降低了镀膜工作中的成本,通过备料组件可实现在同一高度位置对多个碳化硅单晶片进行逐一放置,有利于降低了工人的劳动强度,通过气体支撑组件可以避免碳化硅晶片与石墨支架直接接触,保证碳化硅晶片的镀膜效果;具有较好的应用前景和保护价值,非常适用于碳化硅晶片镀膜时使用。

    一种液晶弹性体驱动的多稳态柔性抓手及其制备方法

    公开(公告)号:CN114102657A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111617547.2

    申请日:2021-12-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及机械手,具体是一种液晶弹性体驱动的多稳态柔性抓手及其制备方法。本发明解决了传统的机械手在抓持形状复杂的物体时容易导致抓持不牢固、对被抓持物体尺寸大小的适应性差的问题。一种液晶弹性体驱动的多稳态柔性抓手,包括基座和四根尺寸一致的柔性手指;所述基座包括圆盘形座体;圆盘形座体的正面延伸设置有四个沿周向等距排列的插接槽;所述每根柔性手指均包括条形液晶弹性体驱动层、条形柔性隔热层、条形柔性封装层A、条形可变刚度层、条形柔性封装层B;四根柔性手指的尾端一一对应地插接固定于四个插接槽内。本发明适用于工业机器人。

    一种大功率三维振动超声辐射器

    公开(公告)号:CN108970953B

    公开(公告)日:2020-03-20

    申请号:CN201810850229.2

    申请日:2018-07-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及超声辐射器,具体是一种大功率三维振动超声辐射器。本发明解决了现有超声辐射器产生的超声频振动只能沿二维方向传播的问题。一种大功率三维振动超声辐射器,包括径向压电振子和轴向压电振子;所述径向压电振子包括外预应力金属圆筒、聚氨酯橡胶圆垫、圆杯形端盖、圆台形氟橡胶胀芯、内预应力金属压块、圆管形内电极、径向极化压电单晶块、圆管形外电极、第I预紧螺栓、截锥螺旋弹簧;所述轴向压电振子包括橡胶弹簧、第II预紧螺栓、圆管形盖体、圆管形压电片组、复合变幅杆、紧固节圆盘、圆管形封套。本发明适用于各种领域,尤其适用于煤层气抽采。

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