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公开(公告)号：CN116676586A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310781428.3
申请日：2023-06-29
Applicant: 中北大学
IPC: C23C16/44 , C23C16/458 , C23C16/52 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及单晶片技术领域，具体涉及一种碳化硅单晶片的镀膜装置，包括筒体，筒体的外侧设有循环控制组件，循环控制组件与外部的气体储存装置和气体回收装置连通，筒体的内侧壁对称的设有备料组件和气体支撑组件；本发明整体结构简单巧妙，通过循环控制组件可以对筒体内部的气体进行回收，降低了镀膜工作中的成本，通过备料组件可实现在同一高度位置对多个碳化硅单晶片进行逐一放置，有利于降低了工人的劳动强度，通过气体支撑组件可以避免碳化硅晶片与石墨支架直接接触，保证碳化硅晶片的镀膜效果；具有较好的应用前景和保护价值，非常适用于碳化硅晶片镀膜时使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116945033A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202311138598.6
申请日：2023-09-05
Applicant: 中北大学
IPC: B24B37/10 , B24B37/34 , B24B57/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明涉及抛光加工技术领域，具体涉及一种用于SiC单晶片的超声辅助化学机械抛光加工装置；包括玻璃槽，玻璃槽一侧安装水平的第一转轴，第一转轴的内端安装抛光盘，抛光盘远离第一转轴的一侧设有抛光垫，玻璃槽另一侧设置有水平的第二转轴，第二转轴的内端安装载料盘，载料盘靠近抛光盘的一侧通过导电胶粘结需要进行抛光的SiC单晶片，玻璃内下部装有抛光液，玻璃槽内底面设有不锈钢电极，玻璃槽外侧设有脉冲电源；不锈钢电极连接脉冲电源的负极，载料盘连接脉冲电源的正极；抛光盘、载料盘及SiC单晶片部分浸泡在抛光液中；本发明通过无需外部的泵体对抛光液进行输送，装置整体更加简洁且使用效果凸出，节约电力资源，节能环保。
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公开(公告)号：CN117047572A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311301261.2
申请日：2023-10-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及珩磨加工技术领域，具体是一种偏心主轴压电微调控自加载双频超声复合式珩磨刀具，其包括刀座、若干个压电陶瓷片A、端盖、紧固螺栓A、变幅杆、挠性螺杆、油石条、两个陀螺仪、前油石座、两根紧固螺栓B、两个压电陶瓷片B、后油石座、若干个压电陶瓷片C、前传动盘、紧固螺栓C、两个应变传感器、后传动盘、两根紧固螺栓D，其中，刀座的上端面中央开设有盲螺孔A，刀座的下端面中央开设有盲螺孔B，每个压电陶瓷片A的端面中央均贯通开设有紧固孔A，各个压电陶瓷片A自下而上层叠构成第一压电晶堆，其有效解决了现有珩磨加工技术加工效率较低、加工精度较差、加工范围受限的问题，适用于珩磨加工。
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公开(公告)号：CN117047572B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311301261.2
申请日：2023-10-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及珩磨加工技术领域，具体是一种偏心主轴压电微调控自加载双频超声复合式珩磨刀具，其包括刀座、若干个压电陶瓷片A、端盖、紧固螺栓A、变幅杆、挠性螺杆、油石条、两个陀螺仪、前油石座、两根紧固螺栓B、两个压电陶瓷片B、后油石座、若干个压电陶瓷片C、前传动盘、紧固螺栓C、两个应变传感器、后传动盘、两根紧固螺栓D，其中，刀座的上端面中央开设有盲螺孔A，刀座的下端面中央开设有盲螺孔B，每个压电陶瓷片A的端面中央均贯通开设有紧固孔A，各个压电陶瓷片A自下而上层叠构成第一压电晶堆，其有效解决了现有珩磨加工技术加工效率较低、加工精度较差、加工范围受限的问题，适用于珩磨加工。(56)对比文件黄卫清;宁青双;安大伟;杨成龙.压电超声辅助研磨抛光技术研究进展.压电与声光.2019,(第02期),全文.
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公开(公告)号：CN116690420B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310989096.8
申请日：2023-08-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及磨削加工技术领域，具体是一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具，其包括超声纵扭变幅杆、纵扭压力调控装置、传感器安装盘A、桥式无线压阻传感器、传感器安装盘B、四个无线温度传感器、磨削盘、四根紧固螺栓，所述纵扭压力调控装置包括传动盘A、传动盘B、可压缩弹性环，其中，超声纵扭变幅杆为空心结构，超声纵扭变幅杆的侧壁下部贯通开设有导液孔A，超声纵扭变幅杆的下端壁中央贯通开设有导液孔B，超声纵扭变幅杆的下外端面边缘开设有四个沿周向等距排列的盲螺孔，其有效解决了现有磨削加工技术加工质量较差、加工效率较低、磨削刀具使用寿命较短的问题，适用于磨削加工。
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公开(公告)号：CN116690420A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310989096.8
申请日：2023-08-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及磨削加工技术领域，具体是一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具，其包括超声纵扭变幅杆、纵扭压力调控装置、传感器安装盘A、桥式无线压阻传感器、传感器安装盘B、四个无线温度传感器、磨削盘、四根紧固螺栓，所述纵扭压力调控装置包括传动盘A、传动盘B、可压缩弹性环，其中，超声纵扭变幅杆为空心结构，超声纵扭变幅杆的侧壁下部贯通开设有导液孔A，超声纵扭变幅杆的下端壁中央贯通开设有导液孔B，超声纵扭变幅杆的下外端面边缘开设有四个沿周向等距排列的盲螺孔，其有效解决了现有磨削加工技术加工质量较差、加工效率较低、磨削刀具使用寿命较短的问题，适用于磨削加工。
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