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公开(公告)号：CN1800444A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510097501.7
申请日：2005-12-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/00 , H01L21/365 , B08B3/00
CPC classification number: C23C16/4405 , B08B7/0035 , C23C16/401 , H01L21/31641 , H01L21/31645 , Y10S438/905
Abstract: 本发明提供一种半导体处理用的成膜装置的使用方法，其包含利用清洗气体对成膜装置的反应室的内表面附着的以高介电常数材料为主要成分的副生成物膜进行处理的工序。在此，向反应室内供给清洗气体，并将反应室内设定为第一温度和第一压力。清洗气体不含氟而含有氯。第一温度和第一压力设定为使得清洗气体中的氯活化。
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公开(公告)号：CN110678268B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201880035321.1
申请日：2018-01-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 田村明威
Abstract: 本发明涉及旋风式捕集器，其能够可靠地捕集吸入气体中的粒子，并且防止雾汽的放出。旋风式捕集器(12)具备容器(21)、在容器(21)内形成液膜(40)的液膜形成部(23)、设置于盖部(32)的吸气孔(33)、以及排气管(24b)。吸气孔(33)相对于与容器(21)的轴线(21A)正交的正交面(21B)朝向下方延伸，吸气孔(33)的开口部(33a)在液膜(40)以外的区域开口。来自吸气孔(33)的吸入气体朝向液膜(40)喷出。
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公开(公告)号：CN101933120B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN200980103595.0
申请日：2009-04-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/304 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/02041
Abstract: 本发明是一种环境气氛净化装置，其特征在于，具备：在被处理体所处的环境气氛中形成下降流的机构；多个离子发生器，它们位于被处理体的上方位置，且在从上方所见的布局中隔着上述被处理体对称地配置，对各上述下降流向横向供给正或负的任一方的离子；向上述被处理体施加与施加到上述多个离子发生器的电极的电压相同符号的直流电压的机构，上述对称地配置的离子发生器配置成相互面对。
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公开(公告)号：CN103168241A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201180050021.9
申请日：2011-10-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01N33/569 , G01N33/533 , G01N37/00
CPC classification number: G01N33/56983 , G01N15/06 , G01N2015/0038 , G01N2015/0046 , G01N2015/0065 , G01N2015/0693 , G01N2333/09 , G01N2333/11
Abstract: 本发明提供病毒检测装置及病毒检测方法，提供能够实时高精度地检测气体中的病毒的技术。在主配管（8）中按顺序设有粉尘去除部（1）、雾化部（4）、照射有激光的荧光测定部（5）、吸引泵（7），利用吸引泵（7）在主配管（8）内形成吸引流。另一方面，使用包括各自的流路宽度微细的液体流路（35）和与该液体流路（35）相邻地排列的气体流路（34）的扩散部（3），使含有荧光抗体（F）的水溶液和大气分别通过液体流路（35）和气体流路（34）。通过自分支部分支出的引导通路（40）将水溶液输送到上述雾化部（4），在此得到的雾群被输送到荧光测定部（5），该分支部形成在上述流路（34、35）的出口侧，用于使气体和水溶液分离并送出气体和水溶液。由于导入有病毒（V）的雾（M）的荧光强度大于未导入病毒（V）的雾（M）的荧光强度，因此，能够通过监视荧光强度来检测病毒（V）。
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公开(公告)号：CN102099900B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN200980127593.5
申请日：2009-07-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/02063 , H01L21/02057 , H01L21/67051
Abstract: 本发明提供一种清洗方法，其根据清洗液将表面形成有图案的基板清洗的清洗，在去除清洗液或干燥时，能够抑制图案凸部的倒塌并将该基板清洗。清洗方法包括：将基板装载到装载台的工序、加热基板的工序和向所述基板的表面供给清洗液的工序。在供给清洗液的工序中，发生莱顿弗罗斯特现象，在向基板供给的清洗液的液滴和基板之间存在所述清洗液的蒸汽，在加热基板的工序中基板被加热。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1800444B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200510097501.7
申请日：2005-12-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/00 , H01L21/365 , B08B3/00
CPC classification number: C23C16/4405 , B08B7/0035 , C23C16/401 , H01L21/31641 , H01L21/31645 , Y10S438/905
Abstract: 本发明提供一种半导体处理用的成膜装置的使用方法，其包含利用清洗气体对成膜装置的反应室的内表面附着的以高介电常数材料为主要成分的副生成物膜进行处理的工序。在此，向反应室内供给清洗气体，并将反应室内设定为第一温度和第一压力。清洗气体不含氟而含有氯。第一温度和第一压力设定为使得清洗气体中的氯活化。
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公开(公告)号：CN101361177B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200780001655.9
申请日：2007-07-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 田村明威
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/67778 , H01L21/67766
Abstract: 本发明提供一种基板移载装置、基板处理装置、基板移载用臂、基板移载方法，能够与晶片保持舟中的任意的保持板之间进行基板的交换，并使保持板的间距比现有技术更窄。基板移载装置(300)包括：以能够旋转和升降的方式构成的基台(310)；在基台上以能够进退的方式设置且具有用于装载并搬送基板的搬送叉部(322)的第一臂(320)；和在基台上以能够进退的方式设置且具有设置有能够起倒的基板举起机构(340)的举起叉部(332)的第二臂(330)。
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公开(公告)号：CN101010448B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200680000710.8
申请日：2006-06-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/455 , H01L21/3065 , H01L21/205 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/4404 , C23C16/403 , C23C16/405 , C23C16/4412 , C23C16/45525 , C23C16/45561 , Y10T428/265
Abstract: 本发明提供一种在半导体处理装置中使用的构成部件(10)，其包括：规定构成部件的形状的基材(10a)和覆盖基材的规定表面的保护膜(10c)。保护膜(10c)由选自铝、硅、铪、锆和钇的第一元素的氧化物的无定形体构成。保护膜(10c)具有小于1％的孔隙率和1nm～10μm的厚度。
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公开(公告)号：CN103168241B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201180050021.9
申请日：2011-10-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01N33/569 , G01N33/533 , G01N37/00
CPC classification number: G01N33/56983 , G01N15/06 , G01N2015/0038 , G01N2015/0046 , G01N2015/0065 , G01N2015/0693 , G01N2333/09 , G01N2333/11
Abstract: 本发明提供病毒检测装置及病毒检测方法，提供能够实时高精度地检测气体中的病毒的技术。在主配管（8）中按顺序设有粉尘去除部（1）、雾化部（4）、照射有激光的荧光测定部（5）、吸引泵（7），利用吸引泵（7）在主配管（8）内形成吸引流。另一方面，使用包括各自的流路宽度微细的液体流路（35）和与该液体流路（35）相邻地排列的气体流路（34）的扩散部（3），使含有荧光抗体（F）的水溶液和大气分别通过液体流路（35）和气体流路（34）。通过自分支部分支出的引导通路（40）将水溶液输送到上述雾化部（4），在此得到的雾群被输送到荧光测定部（5），该分支部形成在上述流路（34、35）的出口侧，用于使气体和水溶液分离并送出气体和水溶液。由于导入有病毒（V）的雾（M）的荧光强度大于未导入病毒（V）的雾（M）的荧光强度，因此，能够通过监视荧光强度来检测病毒（V）。
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公开(公告)号：CN102414339A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080017943.5
申请日：2010-04-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/246
Abstract: 本发明提供一种能使保持了高流动性的状态的颗粒状的有机材料有效地升华、溶解的蒸镀处理装置和蒸镀处理方法。是通过蒸镀在基板上使薄膜成膜的蒸镀处理装置，具备供给材料气体的、自由减压的材料供给装置和在上述基板上使薄膜成膜的成膜装置，所述材料供给装置具有对材料进行定量的定量部和使通过了所述定量部的材料气化的材料气体生成部。
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