公开(公告)号：CN107623502B

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201710564872.4

申请日：2017-07-12

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩成 ,  李在昌 ,  韩源 ,  金泰润 ,  金钟云 ,  李泰京 ,  李文喆 ,  李泰勋 ,  赵成珉 ,  姜仁瑛

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器装置，所述体声波谐振器装置包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，设置在所述下电极的部分上；上电极，设置在所述压电层上；及形状控制层，覆盖腔的边缘，所述腔设置在所述基板和所述下电极之间，其中，在所述形状控制层的形成期间，张应力被施加到所述形状控制层。

公开(公告)号：CN108696262A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810224679.0

申请日：2018-03-19

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李文喆 ,  朴朵焌 ,  李在昌 ,  金泰润 ,  林昶贤 ,  李华善 ,  李泰勋 ,  黄炫民 ,  李泰京

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/17 ,  H03H9/54

CPC classification number: H03H9/02133 ,  H03H9/02086 ,  H03H9/205 ,  H03H9/542 ,  H03H9/587 ,  H03H9/605 ,  H03H9/171 ,  H03H9/54

Abstract: 本发明提供一种用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器，所述体声波(BAW)谐振器包括：基板；第一BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；第二BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二BAW谐振器并联连接到所述第一BAW谐振器并且具有与所述第一BAW谐振器的极性相反的极性；以及补偿电容器电路，连接在所述第一BAW谐振器与所述第二BAW谐振器之间。

公开(公告)号：CN107528565A

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201710032359.0

申请日：2017-01-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  李泰勋 ,  丁大勋 ,  李文喆 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/64

Abstract: 提供一种声波滤波器装置，所述声波滤波器装置包括：下电极，设置在基板和压电层之间；上电极，设置在压电层上；绝缘层，设置在上电极上。绝缘层使上电极的部分暴露。

公开(公告)号：CN108964631B

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN201711444086.7

申请日：2017-12-27

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰勋 ,  林昶贤 ,  金泰润 ,  李文喆

IPC: H03H9/15

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极、上电极连接构件和介电层，其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出。所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。

公开(公告)号：CN113746447A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111060953.3

申请日：2017-08-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金泰润 ,  金大虎 ,  林昶贤 ,  李泰勋 ,  尹湘基 ,  金锺云 ,  韩源 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17 ,  H03H9/54 ,  H03H9/56 ,  H03H9/60 ,  H03H3/02 ,  H01L41/047

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。

公开(公告)号：CN107786182B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201710740128.5

申请日：2017-08-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  金泰润 ,  金大虎 ,  林昶贤 ,  李泰勋 ,  尹湘基 ,  金锺云 ,  韩源 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。

公开(公告)号：CN108429543B

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN201810052173.6

申请日：2018-01-19

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰勋 ,  丁大勋 ,  林昶贤 ,  金泰润 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。

公开(公告)号：CN107733392B

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN201710454610.2

申请日：2017-06-15

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李文喆 ,  李在昌 ,  林昶贤 ,  李泰勋 ,  李泰京 ,  金泰润

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/54 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：基板；腔体形成层，设置在所述基板上，以形成腔体；下电极，设置在所述腔体上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上；及温度补偿层，设置在所述下电极的下面并且设置在所述腔体中。

公开(公告)号：CN107592090B

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN201710059879.0

申请日：2017-01-24

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰勋 ,  韩源 ,  李文喆 ,  韩成

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/19

Abstract: 提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；激活振动区域，所述激活振动区域包括顺序地堆叠在所述基板上的下电极、压电层和上电极；水平谐振抑制部，通过所述压电层形成且设置在所述压电层中，所述水平谐振抑制部具有与所述压电层的压电物理性质不同的压电物理性质。

公开(公告)号：CN107094002B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201610915495.X

申请日：2016-10-20

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  李文喆 ,  李在昌 ,  孙尚郁 ,  李泰勋

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H9/05 ,  H03H3/02

Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法。所述声波谐振器包括：基板；谐振部，安装在基板上，并包括谐振部电极，所述谐振部电极被构造为产生声波；腔，设置在谐振部和基板之间；框架部，设置在谐振部电极中的至少一个电极上，并被构造为反射声波；连接电极，被构造为将所述至少一个电极连接到外电极，并具有比所述至少一个电极的厚度小的厚度。