公开(公告)号：CN111510095A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201910552688.7

申请日：2019-06-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金泰润 ,  孙尚郁 ,  林昶贤

IPC: H03H9/02

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；膜层，与所述基板形成腔；第一电极，至少部分地设置在所述腔的上部上并且包括比所述第一电极的其他部分厚的端部部分；插入层，包括邻近所述第一电极的所述端部部分设置的第一部分和设置在所述第一电极的上部上的第二部分；压电层，设置为覆盖所述插入层；以及第二电极，设置在所述压电层的上部上。

公开(公告)号：CN106533385B

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201610811315.3

申请日：2016-09-08

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 朴浩洙 ,  申济湜 ,  孙尚郁 ,  李玲揆 ,  李文喆 ,  金德焕 ,  金哲秀

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/02

Abstract: 提供一种声波谐振器和包括该声波谐振器的滤波器，所述声波谐振器包括：基板；谐振部件，设置在基板的第一表面上并包括第一电极、压电层和第二电极；以及盖，设置在基板的第一表面上并且包括容纳谐振部件的容纳部分。谐振部件被构造成通过下列信号中的任一个或者两个进行操作：从第一装置基板输出的信号以及从第二装置基板输出的信号，其中，第一装置基板被设置成在与基板的第一表面的相对侧面对基板的第二表面，第二装置基板被设置在所述盖上。

公开(公告)号：CN109818591A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201811375268.8

申请日：2018-11-19

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 丁大勋 ,  孙尚郁 ,  韩源 ,  金锺云

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/10 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；谐振区域，包括设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极以及沿所述谐振区域的外围设置的反射层；以及连接电极，从所述第二电极延伸。所述反射层包括第一部分和设置在所述谐振区域和所述连接电极之间的第二部分，并且所述第一部分的截面积不同于所述第二部分的截面积。

公开(公告)号：CN106059524A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610040724.8

申请日：2016-01-21

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李文喆 ,  李玲揆 ,  金德焕 ,  孙尚郁 ,  金哲秀 ,  申济湜

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/10 ,  H03H9/46

Abstract: 公开了一种体声波谐振器及包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；气腔，形成在基板上；谐振部，形成在气腔上，并包括依次层压的第一电极、压电层和第二电极，其中，气腔的截面具有短边、与短边相对的长边以及使短边和长边彼此连接的第一侧边和第二侧边，第一侧边和第二侧边倾斜，第一电极、压电层、第二电极或它们的任意组合的表面粗糙度在1nm与100nm之间。

公开(公告)号：CN114362708B

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202110848246.4

申请日：2021-07-27

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  孙尚郁 ,  金泰润 ,  林昶贤 ,  韩相宪 ,  金钟范

IPC: H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，其中，在所述基板与所述第一电极之间形成腔；压电层，设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置；第二电极，设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置；钝化层，具有设置在所述第二电极上的至少一部分，并且与所述第二电极的至少一部分叠置；以及下框架，与所述基板间隔开，并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部，并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。

公开(公告)号：CN108336982B

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN201810039429.X

申请日：2018-01-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金大虎 ,  金龙石 ,  韩昇勋 ,  李文喆 ,  林昶贤 ,  李成俊 ,  尹湘基 ,  金泰润 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。

公开(公告)号：CN108631742B

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN201810077058.4

申请日：2018-01-26

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 丁大勋 ,  孙尚郁 ,  金泰润 ,  金大虎

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：谐振部，包括设置在第一电极和第二电极之间的压电层；以及框架部，沿所述第二电极的外边缘设置。所述框架部包括反射在所述谐振部中产生的横向波的至少三个反射部。

公开(公告)号：CN114362708A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202110848246.4

申请日：2021-07-27

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  孙尚郁 ,  金泰润 ,  林昶贤 ,  韩相宪 ,  金钟范

IPC: H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，其中，在所述基板与所述第一电极之间形成腔；压电层，设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置；第二电极，设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置；钝化层，具有设置在所述第二电极上的至少一部分，并且与所述第二电极的至少一部分叠置；以及下框架，与所述基板间隔开，并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部，并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。

公开(公告)号：CN113541633A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202011537681.7

申请日：2020-12-23

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 柳廷勳 ,  孙尚郁 ,  金成昱 ,  韩源 ,  丁大勳 ,  韩相宪

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/15

Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：第一电极；压电层，至少部分地设置在所述第一电极的上部上；以及第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述第二电极包括设置在所述体声波谐振器的有效区域的边缘处的框架，并且所述第一电极、所述压电层和所述第二电极设置为在所述有效区域的所述边缘处彼此叠置。所述框架包括设置在所述有效区域的所述边缘处的壁和形成在所述壁的内侧上的沟槽。所述沟槽的内边界线在与所述框架的上表面平行的平面中具有凹凸形状。

公开(公告)号：CN111510095B

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN201910552688.7

申请日：2019-06-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金泰润 ,  孙尚郁 ,  林昶贤

IPC: H03H9/02

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；膜层，与所述基板形成腔；第一电极，至少部分地设置在所述腔的上部上并且包括比所述第一电极的其他部分厚的端部部分；插入层，包括邻近所述第一电极的所述端部部分设置的第一部分和设置在所述第一电极的上部上的第二部分；压电层，设置为覆盖所述插入层；以及第二电极，设置在所述压电层的上部上。