半导体器件和包括其的电子系统
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115084153A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210144610.3

    申请日:2022-02-17

    Abstract: 发明构思提供了半导体器件和包括其的电子系统。该半导体器件可以包括第一单元块和第二单元块,第一单元块包括第一电极结构和穿透第一电极结构的第一沟道,第一电极结构包括堆叠在基板上的第一电极,第二单元块包括第二电极结构和穿透第二电极结构的第二沟道,第二电极结构包括堆叠在基板上的第二电极。第一和第二电极结构可以在第一方向上延伸。第一电极结构可以在第二方向上具有第一宽度,第二电极结构可以具有大于第一宽度的第二宽度。第一电极结构的侧表面和与其相邻的第一沟道可以彼此间隔开第一距离,并且第二电极结构的侧表面和与其相邻的第二沟道可以彼此间隔开不同于第一距离的第二距离。

    喷淋头和衬底处理设备
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110391124A

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201910225395.8

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 根据本发明构思的实施例的喷淋头包括:具有多个气体供给通道的上板,具有形成在下表面中的多个供给孔和多个排气槽的下板,以及在所述上板和所述下板之间的多个分隔壁,所述多个分隔壁连接到所述多个排气槽并限定在喷淋头的侧部开口的排气通道。

    补偿扰动的装置和方法及其驱动伺服系统

    公开(公告)号:CN1340814A

    公开(公告)日:2002-03-20

    申请号:CN01125540.4

    申请日:2001-08-14

    CPC classification number: G11B7/0953

    Abstract: 一种利用学习控制补偿扰动的装置和方法。一种光记录/重放装置的光记录介质驱动伺服系统,该系统包括:移动在记录介质上记录数据或从记录介质重放数据的头的位置的致动器;检测记录介质的参考位置与该头的实际位置之间位置误差的检测器;从误差检测器接收一个值并产生驱动致动器的值的补偿器;存储用于补偿由周期性扰动造成的位置误差的控制输入的第一存储器;由相位变换第一存储器的内容并存储该内容的第二存储器;由相位产生第一和第二存储器的地址的定时控制器;和将第一或第二存储器的内容与补偿器的输出施加到致动器的加法器。因此,利用一种以前学习的控制结果可以迅速和有效地补偿周期性扰动分量,而不考虑其它的变化。

    喷淋头和衬底处理设备
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110391124B

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN201910225395.8

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 根据本发明构思的实施例的喷淋头包括:具有多个气体供给通道的上板,具有形成在下表面中的多个供给孔和多个排气槽的下板,以及在所述上板和所述下板之间的多个分隔壁,所述多个分隔壁连接到所述多个排气槽并限定在喷淋头的侧部开口的排气通道。

    包括电容器结构的半导体器件及制造其的方法

    公开(公告)号:CN109524400A

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201811086216.9

    申请日:2018-09-18

    Inventor: 徐英植 赵诚一

    Abstract: 一种制造半导体器件的方法包括提供衬底结构。该方法包括形成顺序地堆叠在衬底结构上的下牺牲层、下支撑物层、上牺牲层和上支撑物层。该方法包括在上支撑物层上形成掩模图案、通过使用掩模图案作为蚀刻掩模蚀刻上支撑物层而形成上支撑物图案。该方法包括形成穿透上支撑物图案、上牺牲层、下支撑物层和下牺牲层的凹陷区域、以及去除下牺牲层和上牺牲层。掩模图案在形成上支撑物图案的工艺期间被去除。并且,当形成凹陷区域的工艺结束时,上支撑物图案留下。

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