公开(公告)号：CN110391124A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201910225395.8

申请日：2019-03-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 爱德华·成 ,  邦晋荣 ,  金爀 ,  赵诚一

IPC: H01J37/32

Abstract: 根据本发明构思的实施例的喷淋头包括：具有多个气体供给通道的上板，具有形成在下表面中的多个供给孔和多个排气槽的下板，以及在所述上板和所述下板之间的多个分隔壁，所述多个分隔壁连接到所述多个排气槽并限定在喷淋头的侧部开口的排气通道。

公开(公告)号：CN110391124B

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN201910225395.8

申请日：2019-03-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 爱德华·成 ,  邦晋荣 ,  金爀 ,  赵诚一

IPC: H01J37/32

Abstract: 根据本发明构思的实施例的喷淋头包括：具有多个气体供给通道的上板，具有形成在下表面中的多个供给孔和多个排气槽的下板，以及在所述上板和所述下板之间的多个分隔壁，所述多个分隔壁连接到所述多个排气槽并限定在喷淋头的侧部开口的排气通道。