具有公共位线结构的非易失性存储器件

    公开(公告)号:CN101719381A

    公开(公告)日:2010-06-02

    申请号:CN200910178279.1

    申请日:2009-10-09

    CPC classification number: G11C16/0483 H01L27/11521 H01L27/11524

    Abstract: 本发明提供了一种具有公共位线结构的非易失性存储器件,其包括具有NAND单元阵列结构的多个单位元件,其布置在多个存储串的每个中且每个单位元件包括控制栅极和电荷存储层。多条公共位线每条公共连接到存储串中一对存储串的每个的端部。设置了具有第一驱动电压的第一选择晶体管和与第一选择晶体管串联并具有小于第一驱动电压的第二驱动电压的多个第二选择晶体管。第一和第二选择晶体管布置在公共位线与存储串的单位元件之间。第一串选择线连接到一对存储串的第一存储串的第一和第二选择晶体管之一。第二串选择线连接到一对存储串的第二存储串的第一和第二选择晶体管之一。多条字线连接到具有NAND单元阵列结构且布置在相同行中的单位元件的控制栅极。

    半导体装置
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105679673B

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN201510736185.7

    申请日:2015-11-03

    Abstract: 提供一种半导体装置,所述半导体装置包括:第一多沟道有源图案;场绝缘层,设置在第一多沟道有源图案上并且包括第一区域和第二区域,第一区域具有从第二区域的顶表面向第一多沟道有源图案的顶表面突出的顶表面;第一栅电极,穿过第一多沟道有源图案,第一栅电极设置在场绝缘层上;第一源极或漏极,设置在第一栅电极和场绝缘层的第一区域之间,并且包括第一刻面,第一刻面被设置为在比第一多沟道有源图案的顶表面低的点处与场绝缘层的第一区域相邻。

    具有3D沟道的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN107248503B

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201710212763.6

    申请日:2014-02-20

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件,其包括具有在第一方向上纵向对准的第一鳍、第二鳍和第三鳍的基板。第一沟槽在第一鳍和第二鳍之间延伸,第二沟槽在第二鳍和第三鳍之间延伸。场绝缘材料的第一部分设置在第一沟槽中,场绝缘材料的第二部分设置在第二沟槽中。场绝缘材料的第二部分的上表面在第二沟槽中在第二鳍和第三鳍的最上表面下面的水平处凹进。第一虚设栅极设置在场绝缘材料的第一部分的上表面上,第二虚设栅极至少部分地延伸到第二沟槽中至场绝缘材料的第二部分的上表面。

    具有3D沟道的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN104425493B

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201410058492.X

    申请日:2014-02-20

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件,其包括具有在第一方向上纵向对准的第一鳍、第二鳍和第三鳍的基板。第一沟槽在第一鳍和第二鳍之间延伸,第二沟槽在第二鳍和第三鳍之间延伸。场绝缘材料的第一部分设置在第一沟槽中,场绝缘材料的第二部分设置在第二沟槽中。场绝缘材料的第二部分的上表面在第二沟槽中在第二鳍和第三鳍的最上表面下面的水平处凹进。第一虚设栅极设置在场绝缘材料的第一部分的上表面上,第二虚设栅极至少部分地延伸到第二沟槽中至场绝缘材料的第二部分的上表面。

    具有3D 沟道的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN107248503A

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201710212763.6

    申请日:2014-02-20

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件,其包括具有在第一方向上纵向对准的第一鳍、第二鳍和第三鳍的基板。第一沟槽在第一鳍和第二鳍之间延伸,第二沟槽在第二鳍和第三鳍之间延伸。场绝缘材料的第一部分设置在第一沟槽中,场绝缘材料的第二部分设置在第二沟槽中。场绝缘材料的第二部分的上表面在第二沟槽中在第二鳍和第三鳍的最上表面下面的水平处凹进。第一虚设栅极设置在场绝缘材料的第一部分的上表面上,第二虚设栅极至少部分地延伸到第二沟槽中至场绝缘材料的第二部分的上表面。

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