公开(公告)号：CN1388899A

公开(公告)日：2003-01-01

申请号：CN01802592.7

申请日：2001-09-10

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 冈野幸儿 ,  石冈圣悟

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/312 ,  G01R31/304

Abstract: 本发明提供一种检查方法,用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线,其中包括:向所述分支电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤;在所述分支电路连接线的其它端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线上检测所述检查信号的非接触传感器的配置步骤;以及根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线上有无断线的判定步骤;在所述配置步骤中,对至少1个所述非接触传感器分配2个所述其它端部,在所述判定步骤中,针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测的所述检查信号而言,比较该检查信号的强度和给定的阈值,判定所述分支电路连接线有无发生断线。由此以较少数量的非接触传感器检查电路连接线。

公开(公告)号：CN112352164A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201980043486.8

申请日：2019-08-08

Applicant: 国立大学法人东北大学 ,  OHT株式会社

Inventor： 须川成利 ,  黑田理人 ,  后藤哲也 ,  羽森宽 ,  村上真一 ,  安田俊朗

IPC: G01R29/24 ,  G01R27/26 ,  G01R31/52 ,  G01R31/54 ,  H05K3/00

Abstract: 电容检测区域传感器将多个电容传感器元件配置成二维阵列状，呈任意的形状，并与外部电极电容耦合。向外部电极供电具有电位差的检查信号。针对所选择的与外部电极电容耦合的电容传感器元件，在上述检查信号的第一信号时和第二信号时的定时从上述电容传感器元件获取第一传感器输出信号、第二传感器输出信号。生成将所获取到的第一传感器输出信号、第二传感器输出信号取差分而得的差分信号，并基于差分信号的电平来生成以不同的颜色或者不同的灰度表示外部电极的形状的图像。

公开(公告)号：CN107449990A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201710403144.5

申请日：2017-06-01

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 村上真一 ,  横道弥生

IPC: G01R31/02

Abstract: 本发明涉及一种非接触型基板检查装置及其检查方法，具备将在具有分支部位的配线图案上以非接触方式一同配置的基准传感器及信号传感器的检测信号放大的增益调整单元，生成利用差分放大器将调整了增益的各检测信号的差放大的判定用信号，将判定用信号除以预定的基准值，求变化率，将所述变化率与预先设定的阈值进行比较，进行不良判定。

公开(公告)号：CN103913667A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201410056938.5

申请日：2014-01-08

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 羽森宽

IPC: G01R31/02

Abstract: 在电路布图检查装置中，按照邻接或接近于检查部的供电电极的两侧的方式，排列有多个消弧电极，将相对于施加于检查对象的导电体布图的检查信号而发生相移的交流的消弧信号施加于各消弧电极，形成与检查信号的电场方向相反方向的电场分布，切削检查信号的电场分布的底侧部分，形成进行了尖锐化的合成电场分布，有选择地对检查对象的导电体布图供电，根据已获得的检测信号，实施导电体布图的良好缺陷的适当的判断。

公开(公告)号：CN103308813A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201210590237.0

申请日：2012-12-28

Applicant: OHT株式会社 ,  株式会社鬼塚硝子

Inventor： 羽森宽 ,  鬼塚好弘 ,  中村智宣

IPC: G01R31/02 ,  G01R1/04

Abstract: 本发明提供一种电极基板、以及具有该电极基板的电路图案检查装置。在电路图案检查装置的检查中所使用的传感器电极基板或供电电极基板为，将形成配线构图之后的玻璃板贴合，从玻璃板切下玻璃片，在厚度方向上贴合其他玻璃片，制作电极基板，由此成为形成了贯穿基板正反面的贯通配线的电极基板。

公开(公告)号：CN101398464A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：CN200810211471.1

申请日：2008-09-26

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 羽森宽 ,  石冈圣悟

IPC: G01R31/02

Abstract: 本发明提供一种通过非接触式传感器进行导电图案检查的电路图案检查装置，解决由于大型化的衬底产生检查台表面高度差或者衬底弯曲，检查时传感器部移动机构的移动精度和技术难度提高，影响制造成本的问题。本发明的电路图案检查装置中，在检查时非接触式传感器部和检查台固定，传送的衬底距离检查台一定距离处上浮状态下通过，使作为检查对象的衬底上的导电图案与传感器部之间保持一定距离，能够抑制检测出的检测信号的电位发生波动等上下变动，能够使用简单的传送机构。

公开(公告)号：CN1823454A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200480020020.X

申请日：2004-07-22

Applicant: 住友电装株式会社 ,  OHT株式会社

Inventor： 大西秀夫 ,  谷口芳和 ,  林美志夫 ,  山冈秀嗣 ,  涂冈明

IPC: H01R43/00

CPC classification number: H01R43/20 ,  H01R13/4223 ,  H01R2201/20

Abstract: 不与安装在连接器内的切压电线的端子接触，即可客观正确的判断端子是否适当的插入连接器外壳内。在连接器外壳10的连接器顶端附近配置两片间距为规定距离的传感板40a、40b，在插入连接器10的端子上附加交流信号，在传感板40a、40b上检出交流信号，由传感板处的检出信号的相对值检出端子插入连接器的插入深度，可以确认端子的插入状态是否适当。

公开(公告)号：CN1235056C

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN00810491.3

申请日：2000-05-19

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01R31/312 ,  G01R31/2805 ,  G01R31/2812

Abstract: 借助降低检查对象的电路阻抗而提高SN比的电路基板导通检查装置及方法。在检查对象的基板状图形线两端子的一方，以非接触方式形成耦合电容，在该电容接续上接续电感(450)与导线。在另一方的端子，借助导线而以接触方式外加交流检查信号。如此形成电容、电感，图形线的共振电路，在阻抗下降的状态，检出输出入信号。

公开(公告)号：CN1556926A

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN02818476.9

申请日：2002-09-18

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R1/07385

Abstract: 本发明提供一种能可靠并正确地检查电路布线的状况的电路布线检查装置。检查系统(20)，对电路基板上的电路布线供给检查信号(S141)，再用多个传感器元件来检测与所供给的检查信号相对应的电路布线上的特定部位处的电位变化(S142)，进列表示电路布线形状的图像数据的生成(S151以下)，将该电路布线形状和预先注册的标准形状进行比较(S167)检查电路布线的状况(S168/9)。

公开(公告)号：CN1545622A

公开(公告)日：2004-11-10

申请号：CN02816283.8

申请日：2002-08-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02

CPC classification number: G01R31/312

Abstract: 本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET，配置铝电极(AL)，作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外，从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD，将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号，从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号，向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。