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公开(公告)号：CN103493181B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201280020255.3
申请日：2012-02-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/45512 , C23C16/4481 , C23C16/45557 , C23C16/52 , Y10T137/7837
Abstract: 本发明是不管是固体原料还是液体原料，都能够正确地调整载体气体与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且在高精度的流量控制下向处理腔稳定地进行供给，并且能够容易地进行过原料的余量管理的汽化供给装置，包括下列部分构成：流路(L1)，其将来自载体气体供给源的载体气体向源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路(L1)，将源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路(L2)，其向处理腔供给在所述空间部生成的原料蒸汽与载体气体的混合气体；流量控制装置，其间置于该流路(L2)，将混合气体的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将源储罐和流路(L1)以及流路(L2)加热为设定温度，该汽化供给装置为将所述空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体的构成。
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公开(公告)号：CN105179799A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510674731.9
申请日：2010-11-04
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/007 , F16K7/14 , F16K25/005 , G05D7/0629 , Y10T137/6416 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761 , F16K49/00 , F16K37/00 , G05D7/06
Abstract: 本发明一种提供即使是超过压电致动器的使用范围温度的温度的流体，也能够控制的压电驱动式阀和压电驱动式流体控制装置。本发明具备用于将流体流路(1b)开闭的阀体(2)、用于利用压电元件的伸长而对阀体(2)进行开闭驱动的压电致动器(10)以及用于将压电致动器(10)以从流体流路(1b)远离的方式举起并支撑且将从流动于流体流路(1b)的流体向压电致动器(10)传导的热散热的散热隔件(40)，而且，优选，具有容纳并支撑压电致动器(10)和散热隔件(40)的双方的支撑筒体(23A)，支撑筒体(23A)的至少容纳散热隔件(40)的部分由具有与散热隔件(40)相同的热膨胀系数的材料形成。
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公开(公告)号：CN105102872A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480004462.9
申请日：2014-04-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16L55/02718
Abstract: 本发明涉及一种流量控制用孔板，如果为应对控制流量的增大而加大孔口的直径，就要防止临界膨胀条件成立时的孔口的上下游侧的压力比P2/P1变动，并防止流量控制范围变窄。本发明构成为：在流量控制用孔板(7a)上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口(12)。
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公开(公告)号：CN105074408A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480009580.9
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社富士金 , 日本电产科宝电子株式会社
IPC: G01L19/00
CPC classification number: F16L21/03 , F16L21/04 , F16L41/008 , G01L9/0051 , G01L19/003 , G01L19/145 , G01L19/147
Abstract: 本发明的目的在于使得即使在压力检测器组装到安装配件主体后，也完全不存在对隔膜的应力影响，另外，也不会受到经年变化的影响。为了达成上述目的，本发明的结构如下：在将压力检测器(1)气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体(15)的插接孔(16)内的压力检测器(1)的安装结构中，具备导管(9)、垫片压件(11)、垫片(12)、开口环(13)和罩盖(14)，将垫片压件(11)和开口环(13)插入安装配件主体(15)的插接孔(16)内，并且将罩盖(14)插装于插接孔(16)，将该罩盖(14)紧固于安装配件主体(15)一侧，利用开口环(13)按压垫片压件(11)和垫片(12)，使垫片(12)的一端面与插接孔(16)的底面之间以及垫片(12)的另一端面与垫片压件(11)的前端面之间分别作为密封部。
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公开(公告)号：CN104822858A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380057690.8
申请日：2013-11-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/4485 , C23C16/4481 , C23C16/4482 , C23C16/52 , F17C9/02 , F22B1/284 , F22B1/285
Abstract: 本发明涉及原料气化供给装置，无论是固体原料还是液体原料，都是使几乎全部原料气体不发生热分解地成为期望的高温、高蒸气压的原料气体，从而能够将高纯度且达到期望浓度的原料气体以高精度进行流量控制同时向处理腔稳定地供给。本发明的原料气化供给装置由原料收纳罐、对从液体收纳罐压送而来的液体进行气化的气化器、对来自气化器的原料气体的流量进行调整的流量控制装置、以及对气化器、高温型压力式流量控制装置及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的流路的期望部分进行加热的加热装置构成，至少针对所述原料收纳罐、气化器、流量控制装置、将所述各设备装置之间加以连结的流路以及介设于流路中的开闭阀中的任一个的金属表面的各液体接触部或气体接触部，实施了Al2O3钝化处理或Cr2O3钝化处理或FeF2钝化处理。
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公开(公告)号：CN102934202B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201080064420.6
申请日：2010-10-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , B01J4/00 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC classification number: B01J4/02 , G05D11/132 , H01L21/67017 , Y10T137/87249
Abstract: 在半导体制造装置用的混合气体供给装置中，防止其他气体种类向过程气体供给线的逆扩散，实现混合气体供给装置的歧管及过程腔室的气体置换的高速化。本发明是一种混合气体供给装置，将由流量控制装置和出口侧切换阀（VO）构成的多个气体供给线以并列状配设、将各出口侧切换阀（VO）的气体出口向歧管（1）连接、并且将距歧管（1）的混合气体出口较近的位置的气体供给线作为小流量用气体的供给用，其中，经由上述流量控制装置的出口侧连结配件（22）及具有气体通路（19a）的安装台（19）将流量控制装置的出口侧和出口侧切换阀（VO）的入口侧气密地连结，在上述出口侧连结配件（22）的流路（24）的一部分及或将上述出口侧切换阀（VO）与歧管（1）的混合气体流通路（20）连通的流路（25）中设置小孔部（26），能够实现其他气体向出口侧切换阀（VO）的上游侧或流量控制装置的上游侧的逆扩散的防止和连结在歧管（1）的混合气体出口（2）上的过程腔室（5）的高速气体置换。
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公开(公告)号：CN102640070B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201080054335.1
申请日：2010-08-02
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F1/363 , G01F15/024 , G05D7/0635 , Y10T137/7737 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
Abstract: 提供一种即使是温度为100℃～500℃的高温气体、也能够使用以往的温度检测器进行误差为1.0%F.S.以下的高精度的流量控制的高温气体用压力式流量控制装置。具有：阀身（VD），形成有流体通路（15、16）；阀部（V），夹设在流体通路中；阀驱动部（PE、21），驱动阀部（V）将流体通路开闭；节流机构，设在流体通路的阀部的下游侧；温度检测器（TC），检测阀部与节流机构之间的气体温度；压力检测器（P），检测阀部与节流机构之间的气体压力；运算控制装置，基于温度检测器及压力检测器的各检测值运算在节流机构中流通的气体流量并且控制阀驱动部；将温度检测器（TC）插装到从上述阀身的上表面侧朝向其内方穿设在阀部与节流机构之间的出口侧流体通路的正上方的位置处的安装孔内。
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公开(公告)号：CN104321710A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380021770.8
申请日：2013-04-01
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/524
CPC classification number: G05D7/0647 , F16K7/16 , F16K31/04 , F16K31/52491 , Y10T137/87917
Abstract: 可变流孔型压力控制式流量控制器具备压力控制部和可变流孔部，使流通于可变流孔部的流孔的流体的流量为QP1=KP1(但是，P1是流孔上游侧压力，K是常数)而运算，并且，使前述流孔为由直接碰触型金属隔膜阀的阀座与隔膜之间的环状的间隙构成的流孔，通过向前述压力控制部的流量运算控制部的设定流量信号(QS)和向可变流孔部的流孔开度运算控制部的流孔开度设定信号(Qz)的变更而进行流量控制范围的切换以及该流量控制范围中的流量控制，其中，由流孔开度运算控制部、通过来自流孔开度运算控制部的流孔控制信号而驱动的步进电动机、通过步进电动机而转动的偏芯凸轮、通过偏芯凸轮而经由隔膜压件来控制阀开度的直接碰触型金属隔膜阀构成前述可变流孔部。
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公开(公告)号：CN103403425B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201180055091.3
申请日：2011-11-14
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0016 , F16K37/0041 , Y10T137/8275
Abstract: 本发明提供一种能够确保长期的检测可靠性且流体通路的开度的检测精度高的手动阀用开度检测装置。把手(13)为中空状。位移传感器(4)固定在把手(13)的内面上。标杆(5)具有配置在从把手(13)内的阀杆离开规定距离的位置上的标杆主体(22)、在标杆主体(22)的与位移传感器(4)相对的面上形成的检测用倾斜面(23)、和从标杆主体(22)向下方突出的下方突出部(25)。在把手(13)的底壁(14a)上设有使标杆(5)的下方突出部(25)能够上下移动地穿插的贯穿孔(30)。标杆(5)通过使其下方突出部(25)下表面被阀主体(11b)支承，从而虽然与把手(13)一同旋转，但不会相对于阀主体(11b)上下移动。
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公开(公告)号：CN103718275A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280038133.7
申请日：2012-06-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/4485 , C23C16/4482
Abstract: 本发明通过能够将加热固体原料或液体原料而生成的原料蒸汽一边使用压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室稳定地供给，实现原料的气化供给装置的小型化和半导体产品的品质提高，并且能够容易地进行原料的剩余量管理。本发明的原料气化供给装置由以下部分构成：原料箱，储存原料；原料蒸汽供给路，从原料箱的内部空间部将原料蒸汽向处理腔室供给；压力式流量控制装置，夹设在该供给路中，控制向处理腔室供给的原料蒸汽流量；和恒温加热部，将上述原料箱、供给路和压力式流量控制装置加热到设定温度；将在原料箱的内部空间部中生成的原料蒸汽一边通过压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室供给。
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