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公开(公告)号：CN114270475A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080057950.1
申请日：2020-07-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明关于一种清洗晶片等的基板的基板清洗方法及基板清洗装置。在基板清洗方法中，由多个保持辊(6)保持基板(W)的周缘部，通过使多个保持辊(6)以各自轴心为中心旋转，从而使基板(W)以其轴心为中心旋转，一边使双流体喷流喷嘴(2)在基板(W)的半径方向移动，一边将由第一液体与气体的混合物构成的双流体喷流从双流体喷流喷嘴(2)导入基板(W)的表面，在将双流体喷流导入基板(W)的表面时，将由第二液体构成的扇状喷流从喷雾喷嘴(3)导入基板(W)的表面，在基板(W)的表面上形成第二液体的液流。扇状喷流从双流体喷流离开。
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公开(公告)号：CN114262930A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111141657.6
申请日：2021-09-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 辻一仁
Abstract: 本发明涉及镀覆装置。本发明提供一种能够抑制气泡滞留在电场遮蔽板的下表面的技术。镀覆装置(1000)具备：镀覆槽(10)；基板保持件(30)；以及电场遮蔽板(60)，配置于镀覆槽的内部的阳极(50)与基板(Wf)之间的部分，遮蔽在阳极与基板之间形成的电场的一部分，在俯视观察电场遮蔽板时，在镀覆槽的内部设置有未被电场遮蔽板遮蔽的非遮蔽区域(70)，在电场遮蔽板的下表面(61a)设置有倾斜面，该倾斜面相对于水平方向倾斜，并且构成为将存在于该下表面的气泡释放到非遮蔽区域。
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公开(公告)号：CN114207285A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202080054953.X
申请日：2020-08-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及汲取液体的泵装置，尤其涉及用于在叶轮咬入液体中含有的异物时除去该异物的技术。泵装置具有叶轮(1)、使叶轮(1)旋转的电动机(7)、驱动电动机(7)的变频器(14)、测量向电动机(7)供给的电流的电流测量器(15)、以及向变频器(14)给予指令以使叶轮执行异物除去动作的动作控制部(17)。异物除去动作包括使叶轮(1)正向间歇性旋转的间歇运行、以及使叶轮(1)交替重复反向旋转及正向旋转的正反微动运行中的至少两种。
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公开(公告)号：CN114198320A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111548805.6
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 西村和马
IPC: F04D15/00
Abstract: 本发明提供一种能够更准确地确定异常振动发生的泵装置。泵装置(200)包括：泵(50)；驱动泵(50)的电动机(3)；作为电动机(3)的变速机构的变频器(22)；检测泵(50)的振动、电动机(3)的振动及变频器(20)的振动中的至少一个振动的振动检测器；以及对泵(50)进行控制的控制装置(23)。控制装置(23)具有存储利用振动检测器测定的计测振动值的存储部(60)。存储部(60)具有存储使泵(50)的转速分段上升至规定转速的各阶段的计测振动值的存储表。
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公开(公告)号：CN110391062B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201910319602.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01F7/06
Abstract: 本发明提供电磁铁控制装置和电磁铁系统。使磁通密度的目标值与实际得到的磁通密度精度良好地一致。电磁铁控制装置具备电流值决定部，该电流值决定部基于磁通密度指令值而决定向线圈流动的电流的值。电流值决定部构成为执行如下的处理：第二处理，在从第一着磁状态使磁通密度减少的情况下，基于第二函数而决定电流值；以及第四处理，在从第三着磁状态使磁通密度减少的情况下，通过以第一扩缩率对第二函数进行扩大或者缩小而将第二函数变换成第四函数，基于变换后的第四函数而决定电流值。电流值决定部还构成为，以使第二函数符合预先通过从第三着磁状态使磁通密度减少而得到的实际测量数据的方式决定第一扩缩率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110325744B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201880013202.6
申请日：2018-02-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04D29/10 , F16J15/3204
Abstract: 泵装置具有：主轴，其用于通过驱动机的驱动将对输送液进行加压的叶轮向预先确定的方向旋转；轴承，其将该主轴能够旋转地支承；轴承罩，其由该主轴贯穿；和密封部件，其防止该轴承的润滑剂在该主轴的外周面上传递而从被密封流体侧泄漏到大气侧，该轴承罩构成为，从该轴承飞散的该润滑剂沿着该轴承罩流动到该密封部件，在该主轴的外周面上，设有以在该主轴旋转时将该主轴的外周面的该润滑剂从该大气侧推回到被密封流体侧的方式倾斜的槽。
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公开(公告)号：CN106067435B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201610251284.0
申请日：2016-04-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种具备可检测基板破裂、欠缺等异常的检测部的基板处理装置。另外，提供一种基板破裂等的异常的检测方法。该基板处理装置具备：研磨基板的研磨单元(3A～3D)；清洗研磨后的基板的清洗单元(73、74)；检测基板异常的基板异常检测部(40)；及将基板依次搬送至研磨单元(3A～3D)、基板异常检测部40)及清洗单元(73、74)的基板搬送机构(6、12、77)；基板异常检测部(40)具有：拍摄基板的摄像设备(42)；及将从摄像设备(42)获得的信号与规定阈值进行比较，来判断基板状态的输出监视部(45)。
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公开(公告)号：CN114117656A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110994616.5
申请日：2021-08-27
Applicant: 荏原环境工程株式会社 , 株式会社荏原制作所
IPC: G06F30/17 , G06F30/27 , G06F111/06
Abstract: 本发明提供用于预测壁厚减薄量的方法、程序及装置，进行构成设备的部件的壁厚减薄量的预测。提供一种由处理器执行的方法，用于为了预测设施内所配置的部件的壁厚减薄而构建壁厚减薄模型，该壁厚减薄模型表现示出部件的壁厚减薄倾向的物理量的经时变化，上述方法包括：对为了调整壁厚减薄模型所包含的参数的概率分布而使用的超参数的先验分布进行设定的步骤；基于超参数的值和表示部件的壁厚减薄倾向的物理量的测量值对计算测量值的似然的似然式进行设定的步骤；对似然式适用贝叶斯定理并根据超参数的先验分布和表示部件的壁厚减薄倾向的物理量的测量值计算超参数的后验分布的步骤；以及根据计算出的超参数的后验分布构建壁厚减薄模型的步骤。
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公开(公告)号：CN114102426A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110717360.3
申请日：2021-06-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明为基板处理装置、基板处理方法以及存储有程序的存储介质，课题在于提高对基板从研磨头飞出的检测精度。基板处理装置包括：研磨台(350)，该研磨台粘贴有用于研磨基板的研磨垫(352)；研磨头(302)，该研磨头用于保持基板并将该基板按压于研磨垫(352)；挡环部件，该挡环以包围研磨头(302)的方式配置；挡环部件加压室，该挡环部件加压室与挡环部件邻接配置；臂(360)，该臂用于保持研磨头(302)并使其回旋；以及滑出检测器(910)，该滑出检测器用于基于臂(360)的回旋转矩、或基于向挡环部件加压室供给的流体的流量检测基板从研磨头(302)飞出的情况。
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公开(公告)号：CN110050125B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880004933.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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