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公开(公告)号：CN112435826B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202010861348.5
申请日：2020-08-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01F7/06
Abstract: 本发明提供电磁铁控制装置和电磁铁系统。使磁通密度的目标值与实际得到的磁通密度精度良好地一致。电磁铁控制装置具备驱动器和基于磁通密度指令值而决定向线圈流动的电流的值的电流值决定部，该电流值决定部执行：第二处理，从第一磁化状态使磁通密度减少时，基于第二函数决定电流值；以及第四处理，从第三磁化状态使磁通密度减少时，通过以第一扩缩率对第二函数扩大或缩小而将第二函数变换成第四函数，基于变换后的第四函数决定电流值。电流值决定部还构成为，以使第二函数符合预先通过从第三磁化状态使磁通密度减少而得到的实际测量数据的方式决定第一扩缩率。该驱动器根据所决定的电流的值对线圈施加阶梯波形或者斜坡波形的电流。
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公开(公告)号：CN105587671B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201510749850.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够不产生输送液的脉动地抑制由滑动部的接触而引起的颗粒的产生的磁悬浮型泵。一种通过磁力使收容于泵壳体内的叶轮(4)上浮的磁悬浮型泵，隔着叶轮(4)而将使叶轮4旋转的电动机(9)和通过磁力支撑叶轮(4)的电磁体(6)相对地配置，将电动机(9)配置在泵壳体的吸入口(13)的相反侧。
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公开(公告)号：CN110391062B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201910319602.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01F7/06
Abstract: 本发明提供电磁铁控制装置和电磁铁系统。使磁通密度的目标值与实际得到的磁通密度精度良好地一致。电磁铁控制装置具备电流值决定部，该电流值决定部基于磁通密度指令值而决定向线圈流动的电流的值。电流值决定部构成为执行如下的处理：第二处理，在从第一着磁状态使磁通密度减少的情况下，基于第二函数而决定电流值；以及第四处理，在从第三着磁状态使磁通密度减少的情况下，通过以第一扩缩率对第二函数进行扩大或者缩小而将第二函数变换成第四函数，基于变换后的第四函数而决定电流值。电流值决定部还构成为，以使第二函数符合预先通过从第三着磁状态使磁通密度减少而得到的实际测量数据的方式决定第一扩缩率。
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公开(公告)号：CN110213875A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910379770.4
申请日：2016-05-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。
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公开(公告)号：CN110828335B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910733030.6
申请日：2019-08-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种进步的基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法。该基板旋转装置具备：外筒；内筒，该内筒定位于外筒的内部；电机，该电机用于使内筒旋转；磁轴承，该磁轴承用于使内筒磁悬浮；以及基板保持部，该基板保持部设置于内筒，电机是径向电机，该径向电机具备：电机定子，该电机定子安装于外筒；以及电机转子，该电机转子安装于内筒，磁轴承是径向磁轴承，该径向磁轴承具备：磁轴承定子，该磁轴承定子安装于外筒；以及磁轴承转子，该磁轴承转子安装于内筒，磁轴承构成为利用磁轴承定子与磁轴承转子之间的引力使内筒磁悬浮。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112435826A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202010861348.5
申请日：2020-08-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01F7/06
Abstract: 本发明提供电磁铁控制装置和电磁铁系统。使磁通密度的目标值与实际得到的磁通密度精度良好地一致。电磁铁控制装置具备驱动器和基于磁通密度指令值而决定向线圈流动的电流的值的电流值决定部，该电流值决定部执行：第二处理，从第一磁化状态使磁通密度减少时，基于第二函数决定电流值；以及第四处理，从第三磁化状态使磁通密度减少时，通过以第一扩缩率对第二函数扩大或缩小而将第二函数变换成第四函数，基于变换后的第四函数决定电流值。电流值决定部还构成为，以使第二函数符合预先通过从第三磁化状态使磁通密度减少而得到的实际测量数据的方式决定第一扩缩率。该驱动器根据所决定的电流的值对线圈施加阶梯波形或者斜坡波形的电流。
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公开(公告)号：CN119993674A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510155288.8
申请日：2020-08-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01F7/06
Abstract: 本发明提供电磁铁控制装置和电磁铁系统。使磁通密度的目标值与实际得到的磁通密度精度良好地一致。电磁铁控制装置具备驱动器和基于磁通密度指令值而决定向线圈流动的电流的值的电流值决定部，该电流值决定部执行：第二处理，从第一磁化状态使磁通密度减少时，基于第二函数决定电流值；以及第四处理，从第三磁化状态使磁通密度减少时，通过以第一扩缩率对第二函数扩大或缩小而将第二函数变换成第四函数，基于变换后的第四函数决定电流值。电流值决定部还构成为，以使第二函数符合预先通过从第三磁化状态使磁通密度减少而得到的实际测量数据的方式决定第一扩缩率。该驱动器根据所决定的电流的值对线圈施加阶梯波形或者斜坡波形的电流。
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公开(公告)号：CN110391062A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910319602.6
申请日：2019-04-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01F7/06
Abstract: 本发明提供电磁铁控制装置和电磁铁系统。使磁通密度的目标值与实际得到的磁通密度精度良好地一致。电磁铁控制装置具备电流值决定部，该电流值决定部基于磁通密度指令值而决定向线圈流动的电流的值。电流值决定部构成为执行如下的处理：第二处理，在从第一着磁状态使磁通密度减少的情况下，基于第二函数而决定电流值；以及第四处理，在从第三着磁状态使磁通密度减少的情况下，通过以第一扩缩率对第二函数进行扩大或者缩小而将第二函数变换成第四函数，基于变换后的第四函数而决定电流值。电流值决定部还构成为，以使第二函数符合预先通过从第三着磁状态使磁通密度减少而得到的实际测量数据的方式决定第一扩缩率。
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公开(公告)号：CN117469300A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310932613.8
申请日：2023-07-27
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本发明提供一种对氟气体的耐腐蚀性优良并且尺寸精度、耐久性上也优良的轴承装置和具备轴承装置的激光装置。提供一种用于在氟气体环境下使用的轴承装置。轴承装置具备磁轴承和触底轴承，该磁轴承具备磁性体和电磁线圈，该触底轴承用于保护所述磁轴承，并且由内圈、外圈及配置于所述内圈与外圈之间的多个转动体构成，所述触底轴承的所述内圈和所述外圈由NiCrAl合金构成。
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