公开(公告)号：CN117469300A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202310932613.8

申请日：2023-07-27

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  极光先进雷射株式会社

Inventor： 佐藤一树 ,  新妻基 ,  平泽一树 ,  石井卓也

IPC: F16C32/04 ,  F16C19/50 ,  F16C33/32 ,  H02K5/16 ,  H01S3/02

Abstract: 本发明提供一种对氟气体的耐腐蚀性优良并且尺寸精度、耐久性上也优良的轴承装置和具备轴承装置的激光装置。提供一种用于在氟气体环境下使用的轴承装置。轴承装置具备磁轴承和触底轴承，该磁轴承具备磁性体和电磁线圈，该触底轴承用于保护所述磁轴承，并且由内圈、外圈及配置于所述内圈与外圈之间的多个转动体构成，所述触底轴承的所述内圈和所述外圈由NiCrAl合金构成。

公开(公告)号：CN113287235B

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN201980088626.3

申请日：2019-02-26

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 石井卓也 ,  伊藤贵志 ,  鲸凉太

IPC: H01S3/038

Abstract: 激光用腔装置可以具有：电介质的管；内电极，其沿着管的长度方向延伸，被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。

公开(公告)号：CN113287235A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN201980088626.3

申请日：2019-02-26

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 石井卓也 ,  伊藤贵志 ,  鲸凉太

IPC: H01S3/038

Abstract: 激光用腔装置可以具有：电介质的管；内电极，其沿着管的长度方向延伸，被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。

公开(公告)号：CN119768978A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202280098871.4

申请日：2022-09-16

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 川岛勇毅 ,  石井卓也 ,  长滨宪志郎

IPC: H01S3/02 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/22

Abstract: 气体激光装置具有：光学板，其被收纳于收纳部；监视器模块，其包含供光入射的入射区域，能够在光学板上滑动；定位部件，其配置于光学板，将监视器模块定位于光学板的规定位置；以及引导件，其在与向入射区域行进的光的光轴平行的方向上延伸，在与光的光轴平行的方向上将监视器模块朝向定位部件引导，监视器模块包含贯通孔，该贯通孔在与光的光轴平行的方向上贯通监视器模块且设置于从入射区域偏离的位置，监视器模块在与光的光轴正交的方向上在光学板上滑动到规定区域之后，沿着引导件在与光的光轴平行的方向上朝向在与光的光轴平行的方向上与规定区域分离的定位部件滑动，通过贯通贯通孔的固定部件与定位部件的螺合而将监视器模块固定于收纳部的内部空间。

公开(公告)号：CN211789972U

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN202020259817.1

申请日：2020-03-05

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 鲸涼太 ,  伊藤贵志 ,  石井卓也 ,  八代将徳

IPC: H01S3/03 ,  H01S3/036

Abstract: 本实用新型实施例提供一种放电激励气体激光装置。通过在第1密封部件的大气侧设置第2密封部件，并且，向第1密封部件与第2密封部件之间的空间内导入惰性气体或氮气，这样，能够通过导入的惰性气体或氮气对该空间内的气体进行净化，防止了大气中的水分和氧气等成分透过第1密封部件进入腔室内，从而能够保证放电激励气体激光装置的性能，避免激光气体的交换频率上升以及运行成本的增加。

公开(公告)号：CN211530388U

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN202020259716.4

申请日：2020-03-05

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 贝岛贯 ,  石井卓也

IPC: H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/041 ,  H01S3/04

Abstract: 本实用新型实施例提供一种气体激光装置，通过将第1端口朝向壳体的开口侧，将第2端口朝向背面侧，这样，在对气体供应部进行维护或维修时，维护或维修人员对需要更换的与第1端口连接的管道进行拆卸和更换，不对与不需要更换的第2端口连接的管道进行拆卸和更换，能够防止管道的错误拆卸以及管道的错误连接，从而保证气体激光装置的正常工作以及避免设备损坏的风险。