激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN113287235B

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN201980088626.3

    申请日:2019-02-26

    Abstract: 激光用腔装置可以具有:电介质的管;内电极,其沿着管的长度方向延伸,被配置于管的贯通孔内;外电极,其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部,该接触板沿着管的长度方向延伸,与管的外周面接触,该多个条部件的一端与接触板连接,该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置;以及板簧,其沿着管的长度方向延伸,将外电极按压于管,板簧包含被缝划分的多个板簧片,该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的,板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部,在比折曲部靠缘部侧按压条部件。

    激光腔和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN113906218A

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN201980097086.5

    申请日:2019-07-03

    Abstract: 放电激励式气体激光装置的激光腔具有:容器,其在内部收纳激光气体;一对放电电极,它们被配置于容器内;横流风扇,其向放电电极之间的放电空间供给激光气体,横流风扇包含用于使横流风扇沿规定的旋转方向旋转的旋转轴、以及各自的长度方向与旋转轴的轴向平行的多个叶片;以及稳定器,其被配置于横流风扇的旋转轨迹的外侧,被配置成与旋转方向相反的方向侧的端部在旋转方向上的最大位置与最小位置之差大于0,且小于多个叶片中的位于彼此相邻的位置的2枚叶片的间隔。

    激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN113287235A

    公开(公告)日:2021-08-20

    申请号:CN201980088626.3

    申请日:2019-02-26

    Abstract: 激光用腔装置可以具有:电介质的管;内电极,其沿着管的长度方向延伸,被配置于管的贯通孔内;外电极,其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部,该接触板沿着管的长度方向延伸,与管的外周面接触,该多个条部件的一端与接触板连接,该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置;以及板簧,其沿着管的长度方向延伸,将外电极按压于管,板簧包含被缝划分的多个板簧片,该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的,板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部,在比折曲部靠缘部侧按压条部件。

    放电激励气体激光装置
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN211789972U

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN202020259817.1

    申请日:2020-03-05

    Abstract: 本实用新型实施例提供一种放电激励气体激光装置。通过在第1密封部件的大气侧设置第2密封部件,并且,向第1密封部件与第2密封部件之间的空间内导入惰性气体或氮气,这样,能够通过导入的惰性气体或氮气对该空间内的气体进行净化,防止了大气中的水分和氧气等成分透过第1密封部件进入腔室内,从而能够保证放电激励气体激光装置的性能,避免激光气体的交换频率上升以及运行成本的增加。

    放电激励式气体激光装置

    公开(公告)号:CN207542556U

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201721638011.8

    申请日:2017-11-30

    Abstract: 本实用新型提供一种放电激励式气体激光装置,包括:激光腔室,其具有由导电性的保持部件所保持的放电电极;第一部件,其表面上形成有通往内部的第一孔;第二部件,其表面上形成有凹部和第二孔;第二孔从凹部的底面贯通第二部件并且与第一孔连通;以及螺栓,其配置于第一孔和第二孔处,将第二部件固定到第一部件上;第二部件具有与放电电极对置的电极侧面以及与激光腔室对置的腔室侧面,所述凹部的一部分形成在腔室侧面上。由此,能够减少甚至避免安装孔处产生折损的情况。

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