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公开(公告)号：CN117469300A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310932613.8
申请日：2023-07-27
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本发明提供一种对氟气体的耐腐蚀性优良并且尺寸精度、耐久性上也优良的轴承装置和具备轴承装置的激光装置。提供一种用于在氟气体环境下使用的轴承装置。轴承装置具备磁轴承和触底轴承，该磁轴承具备磁性体和电磁线圈，该触底轴承用于保护所述磁轴承，并且由内圈、外圈及配置于所述内圈与外圈之间的多个转动体构成，所述触底轴承的所述内圈和所述外圈由NiCrAl合金构成。
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