气体激光装置和电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN119768978A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202280098871.4

    申请日:2022-09-16

    Abstract: 气体激光装置具有:光学板,其被收纳于收纳部;监视器模块,其包含供光入射的入射区域,能够在光学板上滑动;定位部件,其配置于光学板,将监视器模块定位于光学板的规定位置;以及引导件,其在与向入射区域行进的光的光轴平行的方向上延伸,在与光的光轴平行的方向上将监视器模块朝向定位部件引导,监视器模块包含贯通孔,该贯通孔在与光的光轴平行的方向上贯通监视器模块且设置于从入射区域偏离的位置,监视器模块在与光的光轴正交的方向上在光学板上滑动到规定区域之后,沿着引导件在与光的光轴平行的方向上朝向在与光的光轴平行的方向上与规定区域分离的定位部件滑动,通过贯通贯通孔的固定部件与定位部件的螺合而将监视器模块固定于收纳部的内部空间。

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