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公开(公告)号：CN110213875A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910379770.4
申请日：2016-05-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。
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公开(公告)号：CN110828335B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910733030.6
申请日：2019-08-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种进步的基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法。该基板旋转装置具备：外筒；内筒，该内筒定位于外筒的内部；电机，该电机用于使内筒旋转；磁轴承，该磁轴承用于使内筒磁悬浮；以及基板保持部，该基板保持部设置于内筒，电机是径向电机，该径向电机具备：电机定子，该电机定子安装于外筒；以及电机转子，该电机转子安装于内筒，磁轴承是径向磁轴承，该径向磁轴承具备：磁轴承定子，该磁轴承定子安装于外筒；以及磁轴承转子，该磁轴承转子安装于内筒，磁轴承构成为利用磁轴承定子与磁轴承转子之间的引力使内筒磁悬浮。
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公开(公告)号：CN113632347A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080024102.0
申请日：2020-03-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H02K9/19 , F01D25/24 , F01D25/26 , F02K9/46 , F04D13/06 , F04D29/58 , H02K5/20 , H02K7/14 , H02K9/08
Abstract: 提供一种在转子高速旋转的情况下，降低工作液的气化的屏蔽电机。屏蔽电机(10)具有配置于定子室(26)的定子(18)、配置于转子室(12)的转子(14)以及包围转子(14)的定子外壳(7)。屏蔽电机(10)还具有：定子室入口部(43)，该定子室入口部构成为供用于冷却定子(18)的冷却液流入定子室(26)；以及定子室出口部(44)，该定子室出口部构成为供冷却液从定子室(26)流出。
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公开(公告)号：CN105587671B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201510749850.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够不产生输送液的脉动地抑制由滑动部的接触而引起的颗粒的产生的磁悬浮型泵。一种通过磁力使收容于泵壳体内的叶轮(4)上浮的磁悬浮型泵，隔着叶轮(4)而将使叶轮4旋转的电动机(9)和通过磁力支撑叶轮(4)的电磁体(6)相对地配置，将电动机(9)配置在泵壳体的吸入口(13)的相反侧。
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公开(公告)号：CN117145863A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310616612.2
申请日：2023-05-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够以小的磁力引力修正旋转体的倾斜度且能够稳定地支承旋转体的磁悬轴承装置。磁悬轴承装置具备由非磁性材料构成的非磁性环(1)和沿非磁性环(1)的周向排列的至少三个轴向磁极(5)。各轴向磁极(5)具备圆弧状的线圈(10)和收容线圈(10)的线圈外壳(12)，至少三个轴向磁极(5)固定于非磁性环(1)。
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公开(公告)号：CN110828335A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201910733030.6
申请日：2019-08-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种进步的基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法。该基板旋转装置具备：外筒；内筒，该内筒定位于外筒的内部；电机，该电机用于使内筒旋转；磁轴承，该磁轴承用于使内筒磁悬浮；以及基板保持部，该基板保持部设置于内筒，电机是径向电机，该径向电机具备：电机定子，该电机定子安装于外筒；以及电机转子，该电机转子安装于内筒，磁轴承是径向磁轴承，该径向磁轴承具备：磁轴承定子，该磁轴承定子安装于外筒；以及磁轴承转子，该磁轴承转子安装于内筒，磁轴承构成为利用磁轴承定子与磁轴承转子之间的引力使内筒磁悬浮。
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公开(公告)号：CN107615890A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680027481.2
申请日：2016-05-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H05H1/46 , C23C14/35 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32669 , C23C14/3407 , C23C14/35 , G01R19/16528 , H01F7/064 , H01F7/20 , H01F13/006 , H01F27/22 , H01J2237/334 , H01L21/3065
Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。
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公开(公告)号：CN105587671A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510749850.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够不产生输送液的脉动地抑制由滑动部的接触而引起的颗粒的产生的磁悬浮型泵。一种通过磁力使收容于泵壳体内的叶轮(4)上浮的磁悬浮型泵，隔着叶轮(4)而将使叶轮4旋转的电动机(9)和通过磁力支撑叶轮(4)的电磁体(6)相对地配置，将电动机(9)配置在泵壳体的吸入口(13)的相反侧。
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