公开(公告)号：CN110213875A

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201910379770.4

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 大桥知范 ,  茨田敏光 ,  山崎裕延 ,  工藤美沙子 ,  佐藤一树

IPC: H05H1/46 ,  H01F7/06 ,  H01F7/20 ,  H01F27/22 ,  H01L21/3065 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。

公开(公告)号：CN113035493B

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202110262091.6

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 大桥知范 ,  茨田敏光 ,  山崎裕延 ,  工藤美沙子 ,  佐藤一树

IPC: H01F7/06 ,  H05H1/16 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。

公开(公告)号：CN113035493A

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202110262091.6

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 大桥知范 ,  茨田敏光 ,  山崎裕延 ,  工藤美沙子 ,  佐藤一树

IPC: H01F7/06 ,  H05H1/16 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。

公开(公告)号：CN107615890A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201680027481.2

申请日：2016-05-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 大桥知范 ,  茨田敏光 ,  山崎裕延 ,  工藤美沙子 ,  佐藤一树

IPC: H05H1/46 ,  C23C14/35 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32669 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/35 ,  G01R19/16528 ,  H01F7/064 ,  H01F7/20 ,  H01F13/006 ,  H01F27/22 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/3065

Abstract: 本发明的电磁铁装置具有：在前表面具有环状的槽的磁轭；配置在槽中的环状的线圈；以及设在线圈的外表面且将线圈相对于磁轭固定的环氧树脂，在磁轭的槽的外周面与设于线圈的径向外侧的环氧树脂之间设有间隙。