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公开(公告)号:CN118171026A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202311671009.0
申请日:2023-12-07
Applicant: 株式会社荏原制作所 , 荏原环境工程株式会社
Abstract: 本发明涉及方法、信息处理装置及非暂时性存储介质。本发明在构成工厂的部件的物理量的预测方法中提供高精度的物理量的预测式。由处理器执行的方法包含由处理器执行的第1步骤组,第1步骤组包含下述步骤:获取经时变化的物理量的测定值;构筑按照物理法则将物理量公式化的物理模型;对测定值的倾向进行统计分析,构筑将物理量表现为时间函数的统计模型;从统计模型获取物理量的预测结果;从物理模型获取物理量的预测结果;以及基于通过物理模型计算的物理量的预测结果和统计模型计算的物理量的预测结果,统计地估计物理量的最终预测结果。
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公开(公告)号:CN114117656A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202110994616.5
申请日:2021-08-27
Applicant: 荏原环境工程株式会社 , 株式会社荏原制作所
IPC: G06F30/17 , G06F30/27 , G06F111/06
Abstract: 本发明提供用于预测壁厚减薄量的方法、程序及装置,进行构成设备的部件的壁厚减薄量的预测。提供一种由处理器执行的方法,用于为了预测设施内所配置的部件的壁厚减薄而构建壁厚减薄模型,该壁厚减薄模型表现示出部件的壁厚减薄倾向的物理量的经时变化,上述方法包括:对为了调整壁厚减薄模型所包含的参数的概率分布而使用的超参数的先验分布进行设定的步骤;基于超参数的值和表示部件的壁厚减薄倾向的物理量的测量值对计算测量值的似然的似然式进行设定的步骤;对似然式适用贝叶斯定理并根据超参数的先验分布和表示部件的壁厚减薄倾向的物理量的测量值计算超参数的后验分布的步骤;以及根据计算出的超参数的后验分布构建壁厚减薄模型的步骤。
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公开(公告)号:CN1207498A
公开(公告)日:1999-02-10
申请号:CN98102877.2
申请日:1998-07-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01N27/26
CPC classification number: G01N17/02
Abstract: 将分析对象用分割面划分成大量多种类型的相邻区域,其中一个称为注意区域,而另一个则被称为非注意区域,向非注意区域界面的各单元引入初始电流密度或初始电势以进行确定每单元上电势和电流密度间关系的边界单元分析,采用所得到的结果作为注意区域的边界条件,来确定注意区域的电势分布和电流密度分布,类似地,采用注意区域中的结果作为非注意区域的边界条件,对非注意单元进行单元分析,以此连续分析区域中电势分布和电流密封分布。
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公开(公告)号:CN1152254C
公开(公告)日:2004-06-02
申请号:CN98102877.2
申请日:1998-07-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01N27/26
CPC classification number: G01N17/02
Abstract: 将分析对象用分割面划分成大量多种类型的相邻区域,其中一个称为注意区域,而另一个则被称为非注意区域,向非注意区域界面的各单元引入初始电流密度或初始电势以进行确定每单元上电势和电流密度间关系的边界单元分析,采用所得到的结果作为注意区域的边界条件,来确定注意区域的电势分布和电流密度分布,类似地,采用注意区域中的结果作为非注意区域的边界条件,对非注意单元进行单元分析,以此连续分析区域中电势分布和电流密度分布。
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公开(公告)号:CN1320211A
公开(公告)日:2001-10-31
申请号:CN99811463.4
申请日:1999-09-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G01N27/26
CPC classification number: G01N17/02
Abstract: 本发明提供一种在2维、3维和轴对称模型化的区域内,同一或不同区域连续存在2个以上时的腐蚀、防蚀解析方法。把整体分割成区域,根据各个模型化来进行单元分割,把其中的一个区域作为注视区域,把其他区域作为非注视区域。分割面对2个区域是共同的,在分割面上的位置一致的各单元上,电流密度和电位是互相等效的。使非注视区域的离散化的边界积分方程式进行变形,通过对分割面以外的非注视区域的单元上的已知电流密度和电位的关系进行汇总,来表示未知的分割面上的电流密度和电位的关系,以获得的分割面上的电流密度和电位的关系为边界条件,进行注视区域的边界单元解析,求出注视区域整体的电位和电流密度分布。然后以获得的分割面上的电位或电流密度为边界条件,通过再次进行非注视区域的边界单元解析而进行区域整体解析。
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