公开(公告)号：CN1207498A

公开(公告)日：1999-02-10

申请号：CN98102877.2

申请日：1998-07-16

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 宫坂松甫 ,  高山博和 ,  天谷贤治 ,  青木繁

IPC: G01N27/26

CPC classification number: G01N17/02

Abstract: 将分析对象用分割面划分成大量多种类型的相邻区域,其中一个称为注意区域,而另一个则被称为非注意区域,向非注意区域界面的各单元引入初始电流密度或初始电势以进行确定每单元上电势和电流密度间关系的边界单元分析,采用所得到的结果作为注意区域的边界条件,来确定注意区域的电势分布和电流密度分布,类似地,采用注意区域中的结果作为非注意区域的边界条件,对非注意单元进行单元分析,以此连续分析区域中电势分布和电流密封分布。

公开(公告)号：CN1152254C

公开(公告)日：2004-06-02

申请号：CN98102877.2

申请日：1998-07-16

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 宫坂松甫 ,  高山博和 ,  天谷贤治 ,  青木繁

IPC: G01N27/26

CPC classification number: G01N17/02

Abstract: 将分析对象用分割面划分成大量多种类型的相邻区域，其中一个称为注意区域，而另一个则被称为非注意区域，向非注意区域界面的各单元引入初始电流密度或初始电势以进行确定每单元上电势和电流密度间关系的边界单元分析，采用所得到的结果作为注意区域的边界条件，来确定注意区域的电势分布和电流密度分布，类似地，采用注意区域中的结果作为非注意区域的边界条件，对非注意单元进行单元分析，以此连续分析区域中电势分布和电流密度分布。

公开(公告)号：CN1320211A

公开(公告)日：2001-10-31

申请号：CN99811463.4

申请日：1999-09-20

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 宫坂松甫 ,  高山博和 ,  天谷贤治 ,  青木繁

IPC: G01N27/26

CPC classification number: G01N17/02

Abstract: 本发明提供一种在2维、3维和轴对称模型化的区域内,同一或不同区域连续存在2个以上时的腐蚀、防蚀解析方法。把整体分割成区域,根据各个模型化来进行单元分割,把其中的一个区域作为注视区域,把其他区域作为非注视区域。分割面对2个区域是共同的,在分割面上的位置一致的各单元上,电流密度和电位是互相等效的。使非注视区域的离散化的边界积分方程式进行变形,通过对分割面以外的非注视区域的单元上的已知电流密度和电位的关系进行汇总,来表示未知的分割面上的电流密度和电位的关系,以获得的分割面上的电流密度和电位的关系为边界条件,进行注视区域的边界单元解析,求出注视区域整体的电位和电流密度分布。然后以获得的分割面上的电位或电流密度为边界条件,通过再次进行非注视区域的边界单元解析而进行区域整体解析。