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公开(公告)号：CN115274395A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202211177822.8
申请日：2022-09-27
申请人： 北京芯美达科技有限公司
发明人： 梁奇
摘要： 本发明公开了一种扩大等离子体有效反应面积的方法，本发明通过根据腔体中工件台上基体所预获得的等离子体的沉积面积和沉积形状来选择承载所述基体的工件台的预设组件，然后通过分布在预设组件的预设圆环形区域上的通道将从腔体外注入的反应气体电离化后排出，配合调整施加到所述通道的外部电压，最终在基体上获得到所要的等离子的沉积面积和沉积形状，同时获得高均匀性的等离子沉积性能，从而有效解决了现有不能实现扩大等离子覆盖面积且获得高均匀性的等离子体的问题。
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公开(公告)号：CN115261796A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210876194.6
申请日：2022-07-25
申请人： 江苏大学
摘要： 本发明公开一种脉冲放电制备碳纳米纤维负载纳米金属粒子的装置及方法，将金属粉末和碳粉末混合，形成金属和碳的混合粉末；同时启动纳米纤维释放部件和纳米纤维收集部件，纳米纤维膜在碳化隧道炉内经碳化处理形成碳纳米纤维膜，碳纳米纤维膜向前移动进入反应腔体内，将混合粉末添加于反应腔体内的第一铜电极板和第二铜电极板之间，第一铜电极板和第二铜电极板向对面移动，压缩混合粉末，脉冲放电电路工作，将第一铜电极板和第二铜电极板之间的混合粉末气化为气态纳米金属粒子，气态纳米金属粒子向上扩散冷凝并沉积到碳纳米纤维上，形成纳米金属粒子负载碳纳米纤维膜；本发明能实现碳纳米纤维负载纳米金属粒子的大批量，高效率和工业化生产。
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公开(公告)号：CN115233164A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210867294.2
申请日：2022-07-22
申请人： 安徽工业大学
摘要： 本发明涉及电弧离子镀技术领域，具体涉及一种金刚石增强复合材料的电弧离子镀方法，包括下列步骤：(1)衬底准备：衬底是作为复合材料依附其上，完成生长的支撑；(2)金刚石颗粒的准备；(3)抽真空；(4)加热；(5)通入工艺气体；(6)膜层沉积；(7)衬底表面布置金刚石颗粒；(8)重复步骤(6)至(7)；(9)热处理，本发明利用电弧离子镀技术制备金刚石增强复合材料的基体，使基体材料种类从金属扩展至氮化物、碳化物等陶瓷材料，提高了金刚石增强复合材料的性能。
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公开(公告)号：CN112323036B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202011209005.7
申请日：2020-11-03
申请人： 北京北方华创微电子装备有限公司
发明人： 朱旭
IPC分类号： C23C14/50 , C23C14/22 , H01L21/687
摘要： 本发明实施例提供一种功率馈入机构、旋转基座装置和半导体加工设备，该功率馈入机构包括导电固定件、固定连接件和旋转连接件，其中，导电固定件与功率源电连接；旋转连接件呈环状，且与旋转部件的旋转轴线同轴设置，并且旋转连接件与旋转部件同步旋转，且相互电导通；固定连接件与导电固定件固定连接，且相互电导通；固定连接件与旋转连接件弹性接触，且相互电导通。本发明实施例提供的功率馈入机构、旋转基座装置和半导体加工设备的技术方案，不仅可以提高功率传输效率，避免现有技术中存在的打火风险，而且还可以简化结构、降低装配要求、安装和维护难度，从而可以提高旋转基座装置的拓展性。
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公开(公告)号：CN115181460A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210814512.6
申请日：2022-07-12
申请人： 深圳仕上电子科技有限公司
IPC分类号： C09D129/04 , C09D7/63 , C23C14/22
摘要： 本发明公开了一种PVD镀腔内壁构件用涂层组合物、PVD镀腔内壁构件及其制备方法和清洗方法，PVD镀腔内壁构件用涂层组合物的原料包括以下质量份数的组分：3份～10份的聚乙烯醇、0.5份～10份的交联剂和0.03份～0.1份的多元醇增塑剂；所述交联剂包括水性封闭型异氰酸酯交联剂或硅氧烷交联剂。上述涂层组合物形成的涂层不仅能增强与杂质层的结合力，防止杂质层脱离，而且清洗时易溶于水，不仅便于清洗镀腔内壁构件，而且不损伤镀腔内壁构件。
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公开(公告)号：CN115161599A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210629853.6
申请日：2022-06-05
申请人： 芯三代半导体科技(苏州)有限公司
摘要： 本申请公开一种真空腔体开腔结构及开腔方法。该开腔结构包括：中心导向机构、顶部旋转装置、旋转导轨及推动结构，顶部旋转装置配置于腔室的上方侧，顶部旋转装置具有本体，本体的一侧端配置有穿孔，通过穿孔本体套接于中心导向机构上，且本体的远离穿孔侧配置有滑动组件，滑动组件配置成沿旋转导轨的表面滑动，所述本体的一侧配置有提升机构，所述中心导向机构上套接有与腔室数量匹配的连接机构并连接至匹配对应的腔室，所述旋转导轨的一侧配置有推动结构，所述推动结构连接本体，基于所述推动结构动作，所述本体沿中心导向机构旋转且所述滑动组件沿所述旋转导轨的表面滑动以打开腔室。这样无需借助外部工具便捷的打开选定的腔室。
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公开(公告)号：CN114624080B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210224344.5
申请日：2022-03-07
申请人： 上海大学
摘要： 本发明提供了一种热镀锌钢板透射电镜测试样品的制备方法，具体包括：在热浸镀锌超高强钢板上通过切割得到可放入双束系统样品观察室的试样；使用双束型聚焦离子束设备进行待取样区域的选取和沉积金属保护；用聚焦离子束在待取样品周围挖坑并用纳米机器手取出样品，将样品转移至金属支架并在样品底部的金属支架处加工出三条支撑柱，每相邻两根支撑柱之间划分出一块待切割区域，并用离子束进行切割去除；再次在样品二表面沉积保护金属，之后对剩下的两块样品区域分别进行离子减薄。本发明提供的方法，能够保证热浸镀锌钢板截面透射样品的连续性和完整性，而且能够一次获得具有超长观测视距的两个对比透射样品，提高了透射样品制备的效率和成功率。
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公开(公告)号：CN112505107B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202011472415.0
申请日：2020-12-14
申请人： 南京大学
IPC分类号： G01N27/12 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , C23C16/455 , C23C16/02 , C23C16/40 , C23C14/35 , C23C14/20 , C23C28/00 , C23C14/22 , C23C14/14
摘要： 本发明公开了一种柔性超高灵敏度宽量程氢气传感器及其制备方法，属于氢气传感器领域，解决了氢气传感器的灵敏度低、检测量程窄、选择性差、工作温度高等缺点。本发明的传感器包括从上到下依次为导电电极层、敏感层、柔性衬底层；所述敏感层为MOx薄膜和Pd纳米粒子，所述Pd纳米粒子覆盖在MOx薄膜上；在柔性聚合物基底上利用原子层沉积和团簇束流沉积技术，将传统金属氧化物型氢气传感器和基于量子电导型氢气传感器结合起来，获得了一种柔性超高灵敏度宽量程、可低温工作的氢气传感器。
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公开(公告)号：CN115116917A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202110294505.3
申请日：2021-03-19
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
摘要： 一种设备校准方法、设备维护方法及半导体处理方法。设备校准方法包含：将校准零件的本体抵靠设置于静电卡盘上的遮护板的顶面。校准零件进一步包含连接本体且相对于本体弯折的第一延伸部，以及连接第一延伸部且相对于第一延伸部弯折的第二延伸部。本体与第二延伸部位于第一延伸部的同一侧。设备校准方法进一步包含：调整遮护板相对于静电卡盘的相对位置，致使沿着第一轴向朝向遮护板延伸的第二延伸部在第一延伸部分别抵靠遮护板的侧面的第一位置与第二位置时不接触环绕静电卡盘的沉积环，其中第一位置、第二位置与遮护板的中央在第一轴向上排列。
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公开(公告)号：CN114959659A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210344484.6
申请日：2022-03-31
申请人： 松山湖材料实验室
摘要： 公开了一种用于样品加热的加热装置，包括：底座；加热器，所述加热器安装在所述底座上；隔热罩，所述隔热罩固定在所述底座的周边，以形成围绕所述加热器的腔体，所述加热器邻近所述腔体的开口；以及基片台，位于所述腔体的开口上方，并且与所述加热器彼此不接触。本申请的加热装置，加热器的加热盘通过采用螺旋的绕线方式，更加密集，在非接触加热方式中能够提高热辐射效率；同时配合隔热方案，减少辐射损耗，从而提高加热器的加热效果。
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