本发明公开了一种PVD镀腔内壁构件用涂层组合物、PVD镀腔内壁构件及其制备方法和清洗方法，PVD镀腔内壁构件用涂层组合物的原料包括以下质量份数的组分：3份～10份的聚乙烯醇、0.5份～10份的交联剂和0.03份～0.1份的多元醇增塑剂；所述交联剂包括水性封闭型异氰酸酯交联剂或硅氧烷交联剂。上述涂层组合物形成的涂层不仅能增强与杂质层的结合力，防止杂质层脱离，而且清洗时易溶于水，不仅便于清洗镀腔内壁构件，而且不损伤镀腔内壁构件。